中古 TEGAL 903E #293828279 を販売中

TEGAL 903Eエッチャー/アッシャーは、ウェーハや基板のエッチングとアッシングを高効率で行う装置です。シリコンからすべての金属、誘電体、有機物まで幅広い材料に使用できるように設計されており、半導体、医療機器、またはマイクロエレクトロニクス産業での使用に最適です。TEGAL 903 Eは、効率的なマルチ不揮発性プロセスチャンバーを備えたオールインワン設計で、エッチングとアッシングのプロセスを迅速かつ簡単に切り替えることができ、ダウンタイムを削減し、生産性を向上させます。この直感的な設計には、複数のガス機能が搭載されており、さまざまなガス化学物質を組み合わせてユーザーのニーズを最大限に満たすことができます。903Eには、エッチングと灰プロセスを最適化するために調整できるインテリジェントプログラムによるプロセス管理が含まれています。このオンツールウェーハ監視技術により、ユーザーは表面の地形を正確に測定し、エッチングと灰の結果をリアルタイムで測定できます。さらに、自動過圧弁や圧力リリーフバルブなどの高度な安全機能を搭載し、加工中の危険な状況を防止します。903 Eはスケーラブルな処理アーキテクチャを備えているため、複数のユニットを接続してマシンのスループットを向上させることができ、処理要件が進化するにつれて容量を増やすことができます。このツールにはカスタマイズ可能なエンジニアソフトウェアパッケージが含まれており、ユーザーは資産をより効率的かつ効果的にプログラムすることができます。さらに、このソフトウェアは、迅速かつ簡単なトラブルシューティングのための内蔵診断機能を備えています。全体として、TEGAL 903Eエッチャー/アッシャーは、ウェーハや基板のエッチングとアッシングのための効率的で信頼性の高い高度なモデルです。独自の設計、効率的なマルチ不揮発性プロセスチャンバー、複数のガス能力、温度範囲、高度な安全機能、およびプログラム可能なエンジニアソフトウェアパッケージにより、TEGAL 903 Eはあらゆる実行で高速かつ正確な結果をユーザーに保証します。