中古 TEGAL 903E #293828247 を販売中
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ID: 293828247
ウェーハサイズ: 4"
Etcher, 4"
LEYBOLD HERAEUS D30A Vacuum pump
Silicon Carbide (SiC).
TEGAL 903E Etcherは、エッチング/アッシング用途向けの高度で信頼性の高い機器です。高精度、高速、再現性の高い結果、一貫した品質と生産性を提供するように設計されています。このシステムには、競合他社に優位性をもたらす多くの革新的な機能と機能が含まれています。TEGAL 903 Eの特徴は、高度なエッチング/アッシュ処理能力です。高精度・高精度を実現する精密イオンビームエッチング/アッシング技術を採用しています。また、革新的な自動調整可能な電源装置を備えており、処理能力を正確に調整し、再現可能な結果を得ることができます。さらに、このツールには、エッチング/アッシングプロセスを均一に適用するための光学アライメントアセットとさまざまな真空パラメータが付属しています。903Eは毎分3,000平方センチメートルの速度で処理することができ、高速サイクルタイムを可能にし、大量の生産要件に最適です。さらに、エッチング/アッシング処理に余分なブーストを与えるプラズマ蒸着モデルが含まれており、スムーズなラインとタイトなエッチング/アッシングの公差が得られます。903 Eの他の機能には、ユーザーフレンドリーなインターフェイスがあり、エッチング/アッシングパラメータを完全に制御し、カスタム設定を機器のメモリに保存できます。また、エッチング/アッシング処理中に部品温度をリアルタイムで監視できるため、プロセスを微調整して最大のパフォーマンスを実現できます。TEGAL 903Eは、エッチング/アッシング機器の安定性に影響を及ぼす可能性のある機械要件や項目をチェックする自動診断ユニットを備えています。さらに、このツールには、職場での事故を防ぐ緊急停止などの包括的な安全システムも含まれています。全体として、TEGAL 903 Eは、最も要求の厳しいエッチング/アッシング要件を満たすように設計された信頼性の高い効率的なエッチング/アッシング資産です。その高度な処理能力と数多くの革新的な機能により、正確で反復可能で信頼性の高い結果が得られます。ユーザーフレンドリーなインターフェース、カスタムパラメータ、包括的な安全システムにより、903Eは生産アプリケーションに最適な信頼性と一貫したエッチング/アッシング性能を提供します。
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