中古 TEGAL 903E #293827885 を販売中

TEGAL 903E （Etch/Ash）装置は、半導体製造プロセスで使用される高度で汎用性の高いエッチングおよびアッシングシステムです。TEGAL 903 Eはその信頼性と拡張性でよく知られており、業界でも高く評価されているツールです。エッチング/アッシュユニット903E、化学供給源、入口および出口マニホールド、および2つのガスミキサーを含む統合された化学供給機を備えています。これにより、エッチングまたはアッシングプロセス全体にわたって正確な化学濃度と配送が保証されます。また、エッチング/アッシュツールは、最大350 x 350 mmのウェーハに対応できる大型ウェーハプラットフォームを備えています。このプラットフォームには、ウェーハの位置を正確にインデックスするウェーハオリエンテーションマップとプローブが装備されています。903 Eは、統合されたケミカルデリバリーアセットに加えて、エッチングとアッシングの両方のアプリケーション用に設計された電子制御チャンバーも備えています。チャンバーは、信頼性の高い反復可能なエッチングまたはアッシング環境を提供するように設計されており、さまざまなアプリケーションに正確に調整することができます。さらに、Eチャック設計は、均一な真空と反復可能な均一な磁力を提供します。TEGAL 903Eは、高解像度エッチングまたはアッシング用に設計されており、優れたプロセス均一性と再現性を提供する機能を備えています。電子ビーム、調節可能なチャンバーシャッター、オートフォーカス機能はすべて、プロセス全体でパターン精度を維持するのに役立ちます。TEGAL 903 Eは、ユーザーがエッチング/アッシュのレシピをプログラミングしたり、完成したレシピを保存したりできる堅牢でユーザーフレンドリーなコントロールモデルを備えています。さらに、装置はまたユーザーがプロセスを監視し、エッチングとアッシングのプロセス中にレシピやその他のパラメータを追跡することができます。903Eは半導体産業の適用に完全に適する高度のエッチングおよびashingシステムです。その多くの高度な機能は、エッチングおよびアッシング用途において最高レベルの精度と均一性を保証します。単位の信頼性は、拡張性および優秀なプロセス均等性と結合されて、それを多くのエッチングかashing適用のための理想的な選択にします。