中古 TEGAL 903E #293806912 を販売中

TEGAL 903Eは、めっき、マスキング、半導体デバイス製造などの用途に最適な高精度エッチャー/アッシャーです。これはTEGALエッチャーのファミリーの一部であり、直径8インチまでのサイズのウェーハを処理することができます。革新的な自動PVR （Precise Vacuum Regulating）システムを搭載しており、サイクル全体を通して均一な真空を確保することで、プロセス圧力を手動で制御できます。この改善された真空制御は、精密なエッチングパラメータを維持し、最適な結果を保証するのに役立ちます。さらに、TEGAL 903 Eには、ウェーハ全体に均等に熱を分散するように設計されたカスタム設計の双頭電気発熱体が装備されています。エッチャーには、堅牢でありながらユーザーフレンドリーな制御システムもあります。エッチングプロセスパラメータに基づいて、ウェハ温度を正確な範囲内に保つようにプログラムされています。内蔵のカウントダウンタイマーにより、信頼性の高いエッチングプロセスが保証されます。さらに、903Eは専用のWindowsベースのソフトウェアプログラムを使用してマシンを制御します。これにより、カスタマイズ可能なパラメータが可能になり、エッチング処理を追跡しやすくなります。エッチャーには、温度調節を可能にする洗練されたデジタルチラーも装備されています。これにより、プロセス中にウェーハが過熱しないようにすることで、エッチング処理の精度が向上します。さらに、903 Eは組み込みのランタイムレコーダーを備えているため、各エッチングプロセスの結果を簡単に追跡できます。TEGAL 903Eは毎分20ミクロン以上の最大エッチング速度を有し、繊細な素材の精密エッチングに最適です。また、高密度ポリイミド、ポリエステル、石英基板をエッチングすることもできます。半導体デバイス製造や精密加工などのハイテク産業での使用に適しています。エッチャーは、最高水準の品質に設計および製造されています。すべての部品は耐食性のステンレス鋼から成り、信頼できる、有効な操作の年を提供するように設計されています。TEGAL 903 Eは厳密に工場を去る前にテストされ、点検され、1年の保証と来ます。そのため、大小両方のウェーハをエッチングするための信頼性と費用対効果の高い方法を提供します。