中古 TEGAL 903E #293766667 を販売中

TEGAL 903Eは、半導体、MEMS、およびナノテクノロジー機器製造用に設計された高度なエッチング/アッシングツールです。多段反応イオンエッチング（RIE）およびウェットケミカルエッチング（WCE）プロセスが可能です。装置には、高圧電源、プラズマ発生器、長寿命エッチングチャンバーが装備されています。TEGAL 903 Eの強力な機能により、重要なアスペクト比、高アスペクト比エッチング、高アスペクト比の異方性ウェットエッチング、および高度なドーピング技術を備えた高度なエッチングアプリケーションが可能になります。903Eの真空チャンバーは1。5 mBarの最大内部圧力で評価され、チャンバー全体の容積は120リットルです。最大12個のウェーハを同時に収容でき、特殊なDC/RFデュアルモードプラズマジェネレータを搭載しており、エッチング処理を正確に制御できます。このシステムのガス供給ラインは、粉末エッチング、反応スパッタリング、化学蒸着（CVD）、反応イオンエッチング（RIE）など、幅広いエッチング工程に使用できます。903 Eは長期的な使用と信頼性のために設計されています。長寿命のチャンバーは、優れたエッチング結果を保証するオールメタル構造で作られています。特別に設計されたガスデリバリーラインは、パウダーインジェクター、バルブコントローラ、複数のガスボトルスロット、安全/防爆シャットオフバルブなどの高度な技術を利用しています。TEGAL 903Eは、温度制御と精密なエンドポイント検出を内蔵し、正確なプロセス制御を提供します。ステンレス製パレットやセラミックキャリアウエハなど、幅広いウエハキャリアに対応しています。また、高精度エッチング制御ソフトウェア「TEGATEM」を搭載し、エッチングプロセスパラメータを微調整することができます。このツールには、安全でユーザーフレンドリーな安全資産が装備されており、アンチバンパー、ガス安全シャットオフバルブ、リモートコントロールシャットオフ機能、遠隔地からエッチャーを制御する機能など、さまざまな安全機能が含まれています。TEGAL 903 Eは、複雑なMEMSおよびナノテクノロジーのアプリケーションにおける特殊なエッチングプロセスの要件を満たすように設計されています。幅広いエッチングニーズに最適なツールです。