中古 TEGAL 903E #293745370 を販売中

TEGAL 903Eは、株式会社テガルが開発した高品質のリアクティブイオンエッチング（RIE）装置です。シリコン、ヒ素ガリウム、石英など幅広い素材の精密エッチングが可能です。このシステムは、13リットルのボリュームを持つ大容量のチャンバーを備えており、より大きなサンプルをエッチングするための十分なスペースを提供します。高出力マイクロ波発電機を搭載しており、周波数の広い範囲で精密なマイクロ波周波制御を可能にするとともに、ユーザーが望ましい角度で基板をエッチングすることができるバイアスコントロールを備えています。また、アルゴンプラズマガンを内蔵した400MW力により、精密エッチングが可能となり、半導体ウェーハの担保損傷を防止します。TEGAL 903 Eエッチングマシンの高精度は、動力の500-1000Wで工具を制御する機能と、単段高真空チャンバーによってさらに提供されます。チャンバーは、優れたエッチング速度と再現性を可能にする10-7 Torrの真空レベルを達成することができます。それに加えて、903Eには自動化されたワークロードマネージャが含まれており、資産管理の自動化と他のシステムとのネットワーキングを可能にします。これにより、モデルの異なるチャンバーで同時に複数のプログラムを実行できます。903 Eはまた、オペレータと環境の安全を確保するために、多くの安全機能を備えています。ガススタビライジングシステムを搭載し、エッチングガスの精密な制御が可能です。また、過加圧または極端な温度が検出された場合に機能する非常停止スイッチも含まれています。TEGAL 903Eエッチャーは非常に汎用性が高く精密なエッチングユニットで、研究および産業用の両方で幅広い用途に適しています。その多くの機能と安全機能は、さまざまなエッチングのニーズに適しています。