中古 TEGAL 903E #293594316 を販売中

TEGAL 903Eは、アッシャーとエッチングに統合されたアプローチを提供するユニークなエッチャー/アッシャーです。ウェーハエッチングとアッシングの2つの形態を備え、パフォーマンスと信頼性を向上させます。このエッチャー/アッシャーは、さまざまな基板を扱うことができ、単層および複数層アプリケーションを処理する機能を備えています。このユニットは、単一の電源電圧で動作するように設計されており、エッチングとアッシングモデルの両方を備えています。エッチング工程でウェーハを運ぶために使用されるボトムプレートを備えています。ベースプレートには、エッチングプロセスに精度と均一性を提供するリングが接続されています。TEGAL 903 Eの暖房装置は正確なエッチングを保障するために均一な温度を維持するように設計されています。エッチング処理後、ウェーハはアッシャーに送られる前に所定の温度に冷却されます。903Eのアッシャー成分は、アプリケーションに応じて選択する2つの異なる形態のアッシャーを備えています。最初のオプションは、迅速なエッチングとアッシングプロセスを必要とするアプリケーションに最適な高速アッシャーです。2つ目のオプションは、低速アッシャーです。これは、高精度の作業とエッチングとアッシングのプロセスの遅さに最適です。これらのアッシングの両方のオプションは、ユーザーが特定のアプリケーションのための正確な所望の結果を達成することができ、調整可能な温度設定が装備されています。903 Eのエッチングとアッシング速度を向上させるには、2つのマルチスパッタリングオプションがあります。これらは、エッチングとアッシングのプロセスが始まる前に、増加したエッチングガスをウェーハ上に均等に分散させることができるため、マルチエッチングと同等のものとして使用されます。TEGAL 903Eの陽極と陰極ネットは、最適なエッチングとアッシング性能を保証するように設計されており、電源は制御可能なエッチングプロセスを提供します。最後に、TEGAL 903 Eにはコンピュータインターフェースが装備されており、ユーザーはエッチングとアッシングプロセス全体を自動化できます。自動化されたプロセスは、重要なオペレータの介入なしに、迅速かつ正確にアシェンウェーハをエッチングするために使用できます。コンピュータインターフェイスは使いやすく、プログラムが簡単です。つまり、ユーザーはプロセス全体を完全に制御できます。903Eはいろいろな適用のために適している有効なエッチングおよびashingシステムです。