中古 TEGAL 903E Series #92424 を販売中

TEGAL 903Eシリーズは、ウェーハ、チップ、基板、材料を精度と精度に重点を置いて迅速に処理するために設計された画期的なシングルチャンバーダイレクトアッシャー/エッチャー装置です。TEGAL 903Eは完全に自動化されたプラットフォームに基づいており、プロセス変数とレシピをボタンのタッチで制御することができ、結果の優れた再現性を提供します。TEGAL 903Eは、ウェットエッチングプロセスとドライエッチングプロセスの両方を備えており、半導体、ナノテクノロジー、およびMEMS市場における高度なプロセス開発と生産試験に最適なツールです。この903Eは、精密なコンピュータ制御ロボットアームと精密なコンピュータ制御エッチングチャンバーにより、優れた精度と再現性を提供します。このシステムは、高精度の小さなサンプルを非常に迅速に処理することができます。TEGAL 903Eエッチングユニットは、プロセスチャンバーを備えた高スループットアプリケーション用に設計されており、エッチングソリューションの正確な量をキャリブレーションします。極めて大きな反応チャンバーにより、ウェーハやサンプルの完全なカバレッジを可能にし、エッチング効率を最大限に高めます。903Eはまた、オンボードソフトウェアと複数の制御言語を備えたシンプルで使いやすいタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えています。すべてのクエンチ、エッチング、およびドライオペレーションは完全に自動化されており、正確なプロセスの一貫性と正確な制御を提供します。TEGAL 903Eは、ユーザーが特定の材料のエッチングおよび蒸着プロセスを最適化し、プロセスレシピをカスタマイズすることを可能にします。ウェーハは自動的にTEGAL 903Eにロードおよびアンロードされ、サンプルの向きは完全に自動化されます。独自の回転振動サンプル機能により、粒子の蓄積と表面粗さを最小限に抑えます。この903Eには、ウェーハの損傷とエッチング後の粗さを最小限に抑えるための高度なクエンチ手順も含まれています。903Eシリーズは、パワフルでオールインワンエッチング、アッシャー/エッチャーマシンです。高いスループット、優れた精度と精度、再現性の向上、フルオートメーションを備えたTEGAL 903Eは、幅広い用途で小型サンプルを迅速に処理するための理想的なソリューションです。優れたクエンチ処理により、優れたウェーハ整合性、エッチング速度、解像度が向上し、高品質で一貫した結果が得られます。