中古 TEGAL 903E Series #83010 を販売中

TEGAL 903E Series
ID: 83010
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6" Includes: ENI ACG-10 RF Generator (1000 Watt) DEC monitor station Chart recorder (Qty 4) Mass flow controllers with certified calibration sheet Pressure controller with certified calibration sheet Heated baratron with certified calibration sheet Upgraded pressure manifold with Nupro valves Upgraded gas manifold with Nupro valves Top plate chuck interlock Vacuum valve RF interlock Install new stepper motors Install new cylinders Install upper electrode Install chemically clean upper ceramic insulator Install new 6” lower electrode (chuck) Install new 6” castellated ceramic ring Install new 6”super spatula assy's Install 6” super tine assy Install new quartz pins Install new collar pins Install new metering valves Install new flexible gas lines Rebuild chuck cylinder Rebuild pin cylinder Install new flow switches SST Install new standoffs Install new safety covers Install new bellows HPS angle valve Install new seals and O-rings, process chamber assy Install bearings, as necessary Install new sapphire rod Install new fiber optics Install new sensor PCB Install new tubing Install new capacitive sensors Install new RF cables Install new variable caps Tegal Chillers available at additional cost.
TEGAL 903Eシリーズエッチャー/アッシャーは、半導体デバイス製造、プリント基板製造、MEMSデバイス製造など、幅広い用途に使用される高度なインラインケミカルエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、精度、速度、精度、および高い柔軟性を備えたエッチングとアッシャーを設計しています。TEGAL 903Eには、高度なxy軸モーションステージ、高解像度光エンコーダテーブル、およびPC/Windows/ソフトウェアの動作環境が含まれています。モーションステージには、ロングストロークリニアドライブと耐久性のある反復可能なステージモーションが含まれており、大面積のエッチングとアッシングプロセスを容易にします。高リゾリューションの光学エンコーダテーブルは正確なエッチングおよびashingを保障するために精密で、一貫した位置および反復可能な動きを提供します。PC/Windows/Softwareの動作環境はユーザーフレンドリーで、ユニットを簡単かつ直感的に制御できます。TEGAL 903Eは、エッチングとアッシングのための密閉環境を提供するマルチゾーン真空機を内蔵しています。真空ツールは、必要なプロセスの数値に合わせて調整し、シングルゾーンからマルチゾーンプロセスまで可能です。さらに、複数のエッチレシピをさまざまなプロセスのアセットにプログラミングすることができ、シンプルで繰り返し可能なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。また、TEGAL 903Eは、高度なCool-GasTMノズル制御モデルを備えており、エッチングおよびアッシングプロセス制御を強化するためにガスの流れと圧力レベルを正確に制御します。さらに、ウェーハ温度モニタリングとフィードバックシステムを搭載し、クールガスノズル条件を自動調整して基板温度精度と安定性を確保します。TEGAL 903Eには、高度なネットワーキング機能も含まれています。このユニットは、他のエッチングおよびアッシングシステム、またはお客様のプロセスコンピュータにネットワーク接続して、プロセスの監視と制御を容易にすることができます。さらに、このマシンは、お客様の既存の制御ソフトウェアにネットワーク接続して、他のインライン処理システムと統合することができます。全体として、903Eシリーズエッチャー/アッシャーは、正確な制御と再現性を必要とするアプリケーション向けに設計された、高度で信頼性の高いエッチングおよびアッシングツールです。このアセットには、さまざまな機能と機能が組み込まれており、エッチングとアッシングを正確、スピード、精度で実行する柔軟性をユーザーに提供します。
まだレビューはありません