中古 TEGAL 903E Series #83010 を販売中
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ID: 83010
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6"
Includes:
ENI ACG-10 RF Generator (1000 Watt)
DEC monitor station
Chart recorder
(Qty 4) Mass flow controllers with certified calibration sheet
Pressure controller with certified calibration sheet
Heated baratron with certified calibration sheet
Upgraded pressure manifold with Nupro valves
Upgraded gas manifold with Nupro valves
Top plate chuck interlock
Vacuum valve RF interlock
Install new stepper motors
Install new cylinders
Install upper electrode
Install chemically clean upper ceramic insulator
Install new 6” lower electrode (chuck)
Install new 6” castellated ceramic ring
Install new 6”super spatula assy's
Install 6” super tine assy
Install new quartz pins
Install new collar pins
Install new metering valves
Install new flexible gas lines
Rebuild chuck cylinder
Rebuild pin cylinder
Install new flow switches SST
Install new standoffs
Install new safety covers
Install new bellows HPS angle valve
Install new seals and O-rings, process chamber assy
Install bearings, as necessary
Install new sapphire rod
Install new fiber optics
Install new sensor PCB
Install new tubing
Install new capacitive sensors
Install new RF cables
Install new variable caps
Tegal Chillers available at additional cost.
TEGAL 903Eシリーズエッチャー/アッシャーは、半導体デバイス製造、プリント基板製造、MEMSデバイス製造など、幅広い用途に使用される高度なインラインケミカルエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、精度、速度、精度、および高い柔軟性を備えたエッチングとアッシャーを設計しています。TEGAL 903Eには、高度なxy軸モーションステージ、高解像度光エンコーダテーブル、およびPC/Windows/ソフトウェアの動作環境が含まれています。モーションステージには、ロングストロークリニアドライブと耐久性のある反復可能なステージモーションが含まれており、大面積のエッチングとアッシングプロセスを容易にします。高リゾリューションの光学エンコーダテーブルは正確なエッチングおよびashingを保障するために精密で、一貫した位置および反復可能な動きを提供します。PC/Windows/Softwareの動作環境はユーザーフレンドリーで、ユニットを簡単かつ直感的に制御できます。TEGAL 903Eは、エッチングとアッシングのための密閉環境を提供するマルチゾーン真空機を内蔵しています。真空ツールは、必要なプロセスの数値に合わせて調整し、シングルゾーンからマルチゾーンプロセスまで可能です。さらに、複数のエッチレシピをさまざまなプロセスのアセットにプログラミングすることができ、シンプルで繰り返し可能なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。また、TEGAL 903Eは、高度なCool-GasTMノズル制御モデルを備えており、エッチングおよびアッシングプロセス制御を強化するためにガスの流れと圧力レベルを正確に制御します。さらに、ウェーハ温度モニタリングとフィードバックシステムを搭載し、クールガスノズル条件を自動調整して基板温度精度と安定性を確保します。TEGAL 903Eには、高度なネットワーキング機能も含まれています。このユニットは、他のエッチングおよびアッシングシステム、またはお客様のプロセスコンピュータにネットワーク接続して、プロセスの監視と制御を容易にすることができます。さらに、このマシンは、お客様の既存の制御ソフトウェアにネットワーク接続して、他のインライン処理システムと統合することができます。全体として、903Eシリーズエッチャー/アッシャーは、正確な制御と再現性を必要とするアプリケーション向けに設計された、高度で信頼性の高いエッチングおよびアッシングツールです。このアセットには、さまざまな機能と機能が組み込まれており、エッチングとアッシングを正確、スピード、精度で実行する柔軟性をユーザーに提供します。
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