中古 TEGAL 903 #9265523 を販売中

TEGAL 903はTEGAL Corporationによって設計され、製造された第3世代のetcher/asherです。ケミカルエッチングとケミカルアッシングを組み合わせた2スプレー装置で、ウェーハ加工の新たなキープロセスを実現します。903システムは両方の世界のベストを提供します-2スプレーノズルからの各ガスの精密な整列、および化学エッチングおよび化学薬品のashingのための複数の変数を別に制御する柔軟性。これらの機能により、時間/温度制御からガスとコンポーネントの複雑な組み合わせまで、幅広いプロセス目標を達成できます。TEGAL 903は信頼できる性能および高速スループットを提供するように設計されています。これは、わずか15秒で2"（5 cm）ウェーハまでエッチングしてアッシングすることができます。各エッチング/アッシュサイクルは0。1から2。0mlにダイヤルすることができ、ユーザーはエッチング/アッシュプロセスの程度をカスタマイズすることができます。単位はまた高められた結果のための等圧または統計モデルのエッチング/灰の周期に置くことができる。903は高性能の機械で、デジタルプロセス制御、温度および圧力センサー、総負荷チェックおよびプログラム可能な論理制御システムと高めます。これらの機能により、完全なプログラマビリティとプロセスオートメーションが可能になります。このツールはまた、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、256以上のプリセットレシピにアクセスできるため、ユーザーは以前のインストールで使用したレシピをすばやく再作成できます。安全性に関しては、TEGAL 903は業界で最も厳しい基準に準拠するように設計されています。それは過剰加圧保護、帯電防止排出装置およびアーク欠陥の連結システムが装備されています。この資産は、適用されるすべてのUL、 CSA、およびIECの安全基準にも準拠しています。結論として、903は堅牢で高度に構成可能なエッチャー/アッシャーです。TEGAL 903は、デュアルプロセスノズル設計、高速サイクルタイム、プログラマブルオペレーティングパラメータ、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、ウェーハの製造に最適な強力なツールです。精度、信頼性、安全性に優れた903は、幅広いプロセスに最適です。