中古 TEGAL 903 #9250122 を販売中

TEGAL 903は大量に精密な結果を要求する上限の蒸気段階のエッチングおよびasherの適用で使用されるバッチ様式、蒸気段階のエッチャー/asherです。特許取得済みの低温プロセス（LTP）と特許取得済みのプラズマベースの前駆体化学を備えており、最適化された地形を備えたエッチングされた機能を提供します。この装置は、エッチング、蒸着、蒸着プロセスにおいて高い精度を確保するために、さまざまなプロセスモジュールを含むように設計されています。これらのモジュールには、3Dエッチング、制御時間エッチング、高度なフィルム形成、原子層成膜、およびその他の独自のプロセスが含まれます。903は自動化されたシステムで、機器を手動で調整することなく、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスを実行するようにプログラムすることができます。機械には複数の精密部品とオートメーション測定が装備されており、繰り返し可能な性能を保証します。この装置は、1250〜2500ワットの電力範囲を備えているため、大量のエッチングおよびアッシング用途に最適です。また、オプションのターボパルスドライブを搭載しており、より高いパワーを発揮し、さらに精密なエッチング深度を提供します。TEGAL 903には特許取得済みの温度補償技術が搭載されており、必要に応じてパワーとプロセスパラメータを調整して一貫したエッチング深さを確保できます。また、プロセスガスの非常に均一な分布を提供するユニークなガスヒーターフロー（GHF）ツールを持っています。さらに、アセットは自己整列サーマルプラテンで低温で動作し、デバイスの表面にガスを閉じ込める可能性を低減します。この装置には、エッチングとアッシングのレシピをプログラミングするためのオンボードのレシピマネージャや、傾斜角度イメージング、SEM、 X線解析など、プロセスを監視するための多くの分析ツールなど、多数のオプションが含まれています。これらのツールを使用すると、機器の精度と生産性を最大化できます。最後に、903は高精度で再現性の高い強力なベクトル駆動モータを備えています。TEGAL 903は多目的で精密なエッチャー/アッシャーで、大量のエッチングおよびアッシング用途に優れた結果を出すことができます。その幅広いプロセスモジュール、高度な機能、カスタマイズ可能なオプションにより、さまざまなエッチングおよびアッシングのニーズに最適なツールです。