中古 TEGAL 903 #9152161 を販売中

TEGAL 903は、最高レベルの信頼性と性能を備えた集積回路を製造するための高度なプラットフォームを提供するエッチャーおよびアッシャーです。これは、幅広い半導体プロセスパラメータにわたって一貫した再現性と歩留まりを備えたエッチングおよびアッシュプロセスをサポートする信頼性の高いプラットフォームです。903は、最新のユーザーインターフェイス（UI）と直感的なGUI、高度な分散メモリ技術、マトリックスベースのレシピ、精度と制御のためのプロセスパラメータの包括的なリストを備えており、さまざまなプロセスニーズに柔軟なプラットフォームを提供します。さらに、TEGAL 903は完全なプロセスの均一性、タイトなプロセス制御仕様による迅速なリカバリ、マルチエッチングプロセス機能を提供します。903は、誘電体ポリシドからRIEおよびアレイアッシングアプリケーションまで、半導体製造事業のフルスペクトルにわたって堅牢な耐久性と信頼性の高い性能を備えています。TEGAL 903は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを使用しており、エッチングとアッシング操作のレシピを迅速かつ簡単に設定するのに役立つさまざまな機器自動化機能を提供しています。このシステムの分散メモリ技術により、製品から最大8µmの機能まで、信頼性と再現性の高いパターンが2µmされます。903はまた、RIE浅いトレンチ絶縁（STI）アプリケーションなどの複数のエッチングおよび灰の操作のためのマルチプロセス機能を備えています。TEGAL 903の堅牢な制御およびデータ収集（CDA）ユニットは、最も要求の厳しい半導体処理ニーズに対応する精度と再現性を提供します。903の高度なアーキテクチャにより、プロセス実行中のすべてのパラメータを正確にプロセス制御および完全に制御できます。また、包括的なProcess Data Acquisition Machine （PDS）またはコマンドラインを介してプロセス最適化を提供することもできます。TEGAL 903は、ファウンドリおよび組立作業が高いレベルのエッチングとアッシングの複雑さと精度を要求する場合に、優れた性能と費用対効果を提供します。自動化された操作と手動操作の両方のための制御とソフトウェアプログラムの完全な補完が装備されており、ユーザーは効率と歩留まり性能を最適化することができます。903の究極の目標は、最高品質の最終製品に信頼性と費用対効果の高い製造プロセスを提供することです。