中古 TEGAL 903 #9076197 を販売中

TEGAL 903は、シリコン、ヒ素ガリウム、リン酸インジウム、および絶縁体（SOI）基板などの様々な材料の精密で信頼性の高いエッチング/アッシングに使用されるハイエンドプラズマベースのエッチャー/アッシャー装置です。この先進的な装置は、信頼性の高い高解像度の電気光学スキャナと光学制御コンピュータ制御エッチングチャンバーを組み合わせた革新的な設計を特徴としています。903は、基板のエッチングとアッシングの両方を可能にするオールインワンシステムで、さまざまなアプリケーションに最適です。TEGAL 903は1ミクロンの分解能、0。5ミクロンの精度、厚い材料には5ミクロンのエッチング速度、薄い材料には0。3ミクロンのエッチング速度で、高精度で効率的です。これにより、すべてのエッチング/アッシングプロセスが可能な限り正確かつ一貫していることが保証されます。また、4つのエッチングガスを使用して最大4つのパターンを処理するように設定することもできます。これにより、複雑な3次元構造を正確かつ迅速に作成できます。903は、低電圧電源で駆動されるユニークなプラズマ発電機を備えています。このジェネレータは、すべてのプロセスで安定したプラズマジェットを生成するように設計されており、基板タイプに関係なく一貫した結果が得られます。また、高精度なコンピュータインターフェースで構成されており、正確なパラメータ設定を迅速かつ簡単に特徴付け、洗練させることができます。TEGAL 903は、ユーザーフレンドリーなコントロールパネルを介してすべての操作を自動化できるため、比較的使いやすいです。このツールには安全機能が内蔵されており、エッチングチャンバーはモジュラーフレームに取り付けられています。動作中の振動や動きを低減し、常に正確なプロセスを実現します。さらに、903には、トータルエッチング時間を短縮するために使用できるさまざまなオプションの真空ポンプシステムも付属しています。全体として、TEGAL 903は、精度と精度の両方を手頃な価格で提供する高度なエッチング/アッシング資産です。さまざまなプロセスや基板タイプに対応でき、直感的な設計により、複雑なエッチング工程でもエラーなく素早く完了できます。903は、信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いエッチングとアッシングソリューションを探しているユーザーにとって理想的な選択肢です。