中古 TEGAL 903 #9071954 を販売中

TEGAL 903は、多種多様な基板を加工するために設計された高性能エッチャー/アッシャーシステムです。最大エッチング速度は400nm/min、最大蒸着速度は500nm/minで、より大きな基板の加工に最適です。基板全体の均一性を可能にする高度なデュアルパスプロセスを備えており、精密なエッチングおよび成膜プロセスに適しています。903はさまざまな調整可能なパラメータを備えているため、ユーザーは特定のニーズに合わせてプロセスを調整できます。これらには、プロセス圧力、チャンバー温度、プロセス持続時間、ガス組成などのさまざまなプロセス変数、およびエッチングおよび蒸着のためのエンドポイント検出および反応ガス混合のようなプロセス固有のパラメータが含まれます。TEGAL 903は自動二酸化炭素および窒素のパージ、圧力監視、電圧保護および地上の欠陥の遮断器のような安全システムのフルレンジを、特色にします。これらの安全システムはすべて、デバイスを安全に操作できるようにします。903はまた、高度なオートメーションと制御を備えており、エッチングと蒸着プロセスを正確に制御できます。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も備えており、TEGAL 903の操作をより簡単かつ効率的にするように設計されています。903は半導体製造、電気光学、マイクロ波およびMEMS装置の使用に適しています。データストレージデバイス、材料特性評価、フォトニックデバイス製造、バイオメディカルデバイスなど、他の多くのアプリケーションにも適しています。結論として、TEGAL 903は、幅広い用途向けに設計された高度で多機能なエッチャー/アッシャーシステムです。これは、均一な基板処理、個々のユーザーのニーズに合わせてプロセスを調整するための調整可能なパラメーター制御、安全な動作を保証するためのさまざまな安全システム、および効率的な操作のためのユーザーフレンドリーなGUIのためのデュアルパスプロセスを備えています。幅広いユーザーからも分かるように、さまざまなアプリケーションに適しています。