中古 TEGAL 903 #9007913 を販売中

TEGAL 903は、小さなランダムロジックとメモリチップの製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。電子ビーム源とビーム偏向装置を備えており、高いスループットと一貫したエッチング品質を実現しています。903は、1ミクロン以下の特徴サイズのウェーハを確実に製造することが証明されています。このシステムは、高度な穴あきスパッタガンと独立して調整可能なグリッド化された電子ビームエミッタを備えており、材料を非常に高精度にイオン化および堆積することができます。この高度な電子ビームソースと革新的なビームデフレクションユニットを統合することで、1ミクロン以下の解像度で高スループットエッチングが可能になり、超微細線幅や接触穴などの機能に役立ちます。このマシンには、プロセスの再現性とプロセス制御を確実にするための多くの革新的な機能が搭載されています。クローズドループのフィードバックツールは、充電結合デバイスカメラを使用してエッチングの進行状況を監視し、中間エッチング補正を行い、均一性、接触穴精度、幅、深さなどの重要なプロセスパラメータを維持します。このアセットには、サイドウォール角度、蒸着速度、フィーチャーサイズ、エッチング速度などのエッチングパラメータを正確に制御できる調整可能なガスバルブも装備されています。また、エッチングレートモニターは、ウェーハ全体の均一性を維持するためのフィードバックを提供するのに役立ちます。TEGAL 903は、精密スクラバーと3次元のWi-Fence機能を使用して、プロセス精度を確保するために、マスクからウェーハにパターンが高精度に転送されるようにします。このモデルのプログラマビリティにより、高度にカスタマイズ可能なレシピも可能になり、ユーザーは特定のニーズに合わせてプロセスを調整することができます。903の最も顕著な特徴の1つは、マルチツールの性質です。エッチングやメッキなど、さまざまな生産ニーズに対応する工程に使用できます。ハイスループット機能と高度な制御アルゴリズムを備えたTEGAL 903は、ランダムロジックとメモリチップの量産に最適です。