中古 TEGAL 903 #293815401 を販売中

TEGAL 903は、高性能エッチングシステムのメーカーであるTEGAL製のエッチャーとアッシャーです。903は350°Cまでの温度範囲の材料のプラズマエッチングそしてashingをするように設計されています。タレットスタイルのエンドエフェクタヘッドを備えた内蔵のファナンスモジュールを備えており、負荷とビームアライメントを正確に調整できます。この装置は、0.5µmの最小バイアス間隔で0.15µmに小さいサイズ制御を備えた高品質のエッチングと灰を生産することができます。エッチャーには、目的のエッチプロファイルを作成するために組み合わせることができるいくつかの異なるプロセス構成が含まれています。RF電源とターボ分子真空ポンプを備えており、高度なプロセス制御を提供します。このシステムには、エッチングプロセスを優れた制御を保証するためのプロセスフィードバックと圧力モニタも含まれています。TEGAL 903は、0。1〜10nmのドーパント負荷を有する半導体の低温ドーピングなどのドーピング用途に適しています。また、自動ガスシャットオフ、真空圧力監視、サンプルを汚染から保護するためのユニットのパージなど、いくつかの安全機能も含まれています。エッチャーは、エッチングパラメータの詳細な分析のための質量分光計と統合することができます。機械は完全なプロセス制御のための他のシステムおよび器械との統合のためによく一致します。903はユーザーフレンドリーで、高度なオートメーションを備えているため、大量生産アプリケーションに最適です。その特徴は利用できる最も有能なプラズマエッチングおよびashingシステムの1つを作ります。