中古 TEGAL 903 #293655091 を販売中

TEGAL 903は高性能プラズマエッチャー/アッシャーで、特にエレクトロニクス、通信、半導体産業で使用される高精度デバイスの幅広い製造に特化して設計されています。プラスチック、セラミック、ガラスなど様々な基板において、高精度かつ高スループットのエッチングおよびアッシング処理が可能な信頼性の高い強力な装置です。903は完全自己完結型プラズマ処理システムで、プラズマエッチングおよびアッシング操作にスタンドアロンソリューションを提供します。費用対効果に最適化されており、ユーザーに高精度プロセスのための堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。このシステムには、より広い基板カバレッジを可能にする大きな表面プレート、高い真空側の真空定格、より高いガス吸入能力とプロセス中の優れた冷却、および120°Cから400°Cまでの調整可能な温度範囲など、いくつかの高度な機能が含まれています。TEGAL 903は、エッチング時間、エッチング速度、デューティサイクル、基板活性化プロファイルなどのプロセスパラメータを自動または手動で制御できます。さらに、エッチングプロセスとジョブデータ入力を簡単に制御するための多言語タッチスクリーンインターフェイスを備えています。プロセスを監視するために、903には高度な光学監視システムが装備されており、ユーザーはエッチプロファイルを正確かつリモートで監視することができます。TEGAL 903プラズマエッチャー/アッシャーは、ハイスループット機能のための高度な設計により、最高品質のエッチングとアッシャー速度を維持することができます。その堅牢な設計により、プラズマの活性化とエッチング時間を競合製品よりも大幅に長く処理できます。さらに、基板に優れた耐摩耗性と耐食性を提供し、将来的には耐久性と一貫したエッチングとアッシャー性能を確保します。全体として、903は高精度デバイスの生産にとって非常に貴重な装置です。その優れた性能、信頼性の高い操作、および費用対効果は、最高品質の基板を生産しながら生産性を最大化し、コストを最小限に抑えることを求める人々にとって理想的な選択肢となります。