中古 TEGAL 903 #293594520 を販売中

TEGAL 903は、精度と効率を備えたナノ構造の製造用に設計された、最新のダイレクトライトライトリソグラフィ装置です。このシステムは、高度な光学系、位置決めシステム、および特殊なソフトウェアを使用して、光源にフォトレジストを正確に露出させます。高解像度のレンズとミラーを使用して、光エネルギーを基板に集中させ、制御されたリソグラフィを可能にします。このユニットは、ナノ構造を数十ナノメートルまでパターニングすることができます。903は、さまざまな基板で使用できる業界標準のデバイスで、高精度のナノ構造を作成するために抵抗します。この機械にはいくつかの部品が組み込まれており、それぞれがリソグラフィープロセスにおいて重要な役割を果たしています。光源モジュールは、ツールの重要なコンポーネントであり、使用される光源の種類は、書き込む必要があるパターンに依存します。仕事によって、光源はレーザー、iライン、またはArFのエキシマレーザーである場合もあります。標準的な光学部品に加えて、TEGAL 903は3軸電動および手動制御を備えたステージ位置決めアセットを組み込み、正確な基板位置決めを保証します。正確なパターンを確保するために、モデルには、露出したパターンの完璧さを保証するための高度なアライニングおよび計測ツールがあります。さらに、903は、用量とフォーカス制御、応用電圧、ペリクル位置決めなど、いくつかのプロセス制御パラメータを提供しており、さまざまなアプリケーションの正確なプロセス制御を可能にします。この装置には、200°Cまで加熱するレジストベーキング用の補助光源も含まれています。TEGAL 903を搭載したソフトウェアは、直感的なユーザーインターフェイスを提供するように設計されており、迅速なサンプル作成とラピッドプロトタイピングを可能にします。903は、ナノマテリアルに特化した幅広いエッチングおよびアッシャーシステムで、お客様固有のさまざまな生産ニーズに合わせた柔軟性を提供します。高度な光学系、インテリジェントソフトウェア、精密モーター制御により、TEGAL 903はユーザーが非常に精度と再現性の高いナノ構造をエッチングおよびアッシャーすることができます。