中古 TEGAL 903 #173938 を販売中

TEGAL 903は、半導体ウェーハなどのハイテクプロダクトの製造に使用されるマニュアル、静電気、プラズマエッチング/アッシャーです。それは高度の研究、開発およびプロトタイピングの実験室で使用するための最も多目的で、強力なドライエッチング装置の1つです。この機械は、シリコン、金属、誘電体、受動素子、および他の多くの基板などの幅広い材料をエッチング/灰することができます。エッチングプロセスは高精度で、高い選択性で微細な特徴をエッチングすることができます。この機械は、プラズマ駆動の静電界発電機の先進的な新技術を使用して、金属イオンやその他の反応材料をウェハの表面に駆動します。903には、マルチマスクエッチングと可変温度範囲の動作を可能にするデュアル絶縁静電チャンバがあります。両方のチャンバーを異なる温度で操作することができ、ユーザーは埋葬深度を制御しながら複雑なパターン化されたエッチングを生成することができます。調整可能な圧力と温度設定により、TEGAL 903は幅広い堆積厚を達成できます。これにより、最適なエッチング速度と出力品質を選択できます。903は、特にシリコンやゲルマニウムなどの材料を使用する場合、非常に高いエッチング率を生成することができます。このマシンは、高いスループットと再現性のために安定したエッチング環境を維持する高度な真空システムを備えています。自動レベルコントロール機能により、ウェーハからウェーハまでの繰り返し可能なエッチプロファイルが可能です。TEGAL 903は、優れた精度と再現性を提供します。その汎用性の高いデザインは、マスキング、蒸着、エッチング、クリーニングなど、すべてのエッチング手順に簡単にアクセスできます。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、直感的なメニュー構造、高度な技術により、半導体デバイス製造の専門家に最適です。機械は現実的で、費用効果が大きい方法で信頼できる操作を提供します。