中古 TEGAL 903 & 903E Series #425 を販売中

TEGAL 903&903Eシリーズは、エッチャー/アッシャーであり、MEMSや半導体関連デバイスの製造に特化した、幅広い用途にわたるエッチング、アッシング、ドライエッチングの先進的なツールです。革新的な加熱ガスフロー装置を使用して、ターゲットとする材料をエッチングおよびアッシュし、高エッチング率、デバイスのスループットの向上、エッチサイクル時間の短縮を実現します。903&903Eシリーズは、300mm×400mm×40mmの大きなエッチング面積を持つ広いチャンバーを備えています。低保守クオーツチューブ、滑らかなセラミック壁、およびエッチング速度を制御する可変周波数コントローラを備えた高精度ドライブシステムを備えています。このユニットは、圧力、温度、ガス流量、保護ガスタイプ、チャンバーベンティング速度、パラメータ選択、および負荷/アンロードなど、多くの高度なプロセス制御を備えています。全体的に、TEGAL 903&903Eシリーズは、優れたエッチング性能と多くの高度なプロセス制御を提供し、伝統的な金属や新素材の高精度エッチングとアッシングを可能にします。機械は信頼性、低い維持および経済的な操作のために造られます。903&903Eシリーズは、大きなプロセスウィンドウ、高速エッチングレート、およびデバイスのスループットの向上を特長としています。また、粒子の汚染を低減し、サイクル時間を短縮して優れたスループットを実現するように設計されています。誘電体、ピクトロニクス、光学材料のレーザー活性エッチング、イオンエッチング、反応イオンエッチング、プラズマエッチング、RIEを行うことができます。これにより、エレクトロオプティクス、フォトニクス、半導体デバイス製造、MEMSなど、さまざまな産業および商用アプリケーションに適しています。全体的に、TEGAL 903&903Eシリーズは、優れたエッチング性能、高いエッチング速度、優れたデバイスのスループット、およびサイクルタイムの向上を提供する高性能エッチャー/アッシャーです。このツールは、伝統的な金属の精密なエッチングとアッシングを可能にする多くの高度なプロセスコントロールと、さまざまな産業用途のための新しい材料を備えています。