中古 TEGAL 901e #9381612 を販売中

TEGAL 901eは、ウェーハ加工において優れた性能を発揮するために設計された非常に強力なエッチング/アッシング装置です。このエッチャー/アッシャーシステムは、グラフィカルインターフェイスと組み込みコンピュータを備えた完全に自動化されたハイスループットユニットで、1つのモジュラーパッケージでプロセス制御および分析機能を提供します。このユニットはまた、シリコン、FR4、ゲルマニウム、GaAsなどの基板のさまざまなプロセスエッチングとアッシングを提供します。TEGAL 901 Eには120 mmロードロックチャンバーとロードポートが装備されており、1バッチにつき最大6個のウェーハを保持でき、迅速かつ効率的なウェーハ処理が可能です。さらに、昇華加熱ステージ、サンプル表示機、マスフローコントローラなど、幅広いオプションを提供しています。パノラマイメージングと組み合わせたサンプル表示ツールにより、エッチングおよびアッシング時にサンプルを正確に位置決めできます。901eのプラズマ源は、多周波数ECR（電子サイクロトロン共鳴）技術に基づいています。低〜高のRF出力が可能で、多種多様なエッチング・アッシング条件が可能です。プラズマ源には、プロセスのサイクル時間を短縮するための迅速なサイクリング機構も装備されています。901 Eはまた、安全でエネルギー効率が良いように設計されており、研究、パイロットライン、および産業用途での使用に理想的です。TEGAL 901eは、完全自動化されたウェーハハンドリングアセットとグラフィカルユーザーインターフェイスを利用して、ウェーハマップやプログラムシーケンスを自動で印刷できるため、エッチングとアッシングプロセスを簡素化します。これにより、周波数と電力、温度、圧力、ガス組成などのエッチングパラメータを正確に制御できます。さらに、マシンのソフトウェアを使用すると、ユーザーはプロセスの進行状況を簡単に監視し、ポストプロセス結果を分析することができ、結果が信頼性が高く、再現性があり、一貫性があることを保証します。TEGAL 901 Eは、ウェーハ加工において優れた性能とランタイム時の長期安定性を提供する信頼性の高い強力なエッチング/アッシングツールをお客様に提供します。コンパクトな設計と直感的なユーザーインターフェースにより、ウェーハ処理が容易かつ効率的になります。さらに、このモデルのプロセスパラメータを識別して監視する機能により、ユーザーはプロセス条件を正確に管理し、製品品質を維持することができます。