中古 TEGAL 901e #9314694 を販売中

TEGAL 901e Asherは、回路基板やその他の部品を製造するための最新のハイテクエッチング装置です。CMP （Chemical Mechanical Planarization）、 Reactive Ion Etch （RIE）、 Wafer Cleanの最新技術を組み合わせたシステムです。TEGAL 901 Eは、反応性酸素混合物を使用して空間分解能の高い基板部品を製造する高性能ドライエッチングユニットです。901eの基本的な構造には、エッチングプロセスに必要なガスの正確な混合物の流れを作成し、管理する2つのガスボックスが含まれています。これらのガスボックスは、エッチングチャンバーの上下に配置されています。エッチングチャンバーは、キャリア/マスク、ターゲットボード、基板を収納するステンレス製の真空密着加工チャンバーです。それに部屋のドアに統合される圧力制御機械があり、部屋の安全な開閉のための急速な出口弁が装備されています。901 Eに4つの地帯、4ミクロンのレベルの暖房用具および各エッチングのステップの温度そしてガス配達の精密な制御を提供するコントローラーがあります。TEGAL 901eには強力なパルス発電機が含まれており、ターゲットとキャリアへのエネルギーの制御と一貫した分布を提供します。これにより、均一性、選択性、エッチングレート機能を正確に制御できます。これは、シングルマスクまたは複数のマスクエッチングの両方を可能にする完全に自動化された資産です。さらに、TEGAL 901 Eはデータロギング、クリーニング、およびエンドステージ検査を内蔵しているため、エッチング段階の材料の再現性と無駄を最小限に抑えることができます。901eは温度、圧力およびひずみセンサーを含む高度の安全機能が、装備されています。このモデルは、ロック可能なハンドル、インターロックサポートフック、防爆ガラスを備えた人間工学に基づいた操作ドアで設計されており、エッチングプロセスで最高レベルの安全性を確保しています。901 Eの性能は、5ミクロンのエッチング分解能と銅、アルミニウム、その他の材料の蒸着速度を高速化することができるため、市場で最も優れています。装置は一貫した、反復可能な結果で作動します。その高度な機能により、電気回路基板、集積回路、その他の重要なコンポーネントに最適なエッチングシステムです。