中古 TEGAL 901e #9312031 を販売中

TEGAL 901eは、さまざまなエッチング用途に使用するために設計された先進的なエッチャーです。これは、多層フィルムエッチングステーション、3チャンババッチ（バッチ）エッチングプロセス、および統合システム熱管理ユニットを備えた完全に統合された機器です。TEGAL 901 Eには、高性能レジスト、調整可能なエッチングチャンバー、高精度マスクアライメント、ウェハ温度制御、およびオプションの粉塵および溶剤浄化システムが装備されています。901eは3ステップまでのフィルムのエッチングプロセスを可能にし、ユーザーはいろいろなフィルムの厚さ、密度および厚さの許容をエッチングすることを可能にします。エッチングプロセスは完全に自動化され、ExactMetrologyソフトウェアスイートの下で動作します。これにより、ユーザーは複数の処理パラメータを処理できます。901 Eの積層プロセスは、ユーザーが一度に複数の膜をエッチングすることを可能にし、回路基板、電子部品、およびその他の複雑なハードウェア製品の量産に最適なツールです。TEGAL 901eは、高性能レジストレイヤーを搭載し、幅広いパターンや形状をエッチングできます。調節可能なエッチングチャンバーは、金、銀、アルミニウム、パラジウム合金を含む複数の材料のエッチングを可能にします。TEGAL 901 Eのオーバーラップ結合機能により、優れたフィルム分解能と均一性を実現します。さらに、ソフトウェア制御のプラズマ圧力制御装置とウェハ温度制御により、エッチング処理が効率的かつ正確に行われます。901eは、そのパフォーマンスを向上させるために、洗練された技術ベースのシステムの数が装備されています。高精度のマスクアライメントにより、パターンの正確なアライメントと反復が可能です。オプションの粉塵および溶剤浄化システムは、クリーンな環境を維持し、安全で効率的なエッチングを保証します。高出力50cm2/minの901 Eは、さまざまな基板や材料を素早く正確にエッチングできます。全体的に、TEGAL 901eは高精度で効率的な結果を出すことができる高度なエッチングツールです。その最先端の技術、多目的で調節可能なエッチングチャンバー、およびユーザーフレンドリーなインターフェースは、エッチング用途に最適です。TEGAL 901 Eは、強化された安全プロトコルと高出力率を備えた堅牢な機能により、複雑な部品や部品の量産に最適なソリューションです。