中古 TEGAL 901e #9296890 を販売中

TEGAL 901e Asher/Etcherは、ハイスループットバッチ生産プロセス向けに設計された高性能の工場自動レーザー加工装置です。TEGAL 901 Eは、高度なアルゴリズムに基づいた並列パターンセル処理を特長としており、金属、セラミックス、半導体、誘電体など多くの材料を処理します。901eのレーザーベースのシステムは、100kHz以上で加工されるワークにアブレーションを提供し、ユーザー定義のパラメータに応じて、901 Eはまた、ウェーハスライシング、ノッチドリリング、ポケットトレンチなどの高精度な操作を提供します。高いレーザー出力電位を持つTEGAL 901eは、クリーンで高速かつ正確な結果を提供します。TEGAL 901 Eの主要なパフォーマンスプレーヤーは、カスタマイズ可能な高レベルのオートメーションおよびソフトウェア制御システムです。これにより、システムが工場のオートメーションプロセスにシームレスに統合され、オペレーターはユニット全体を完全に制御して可視化できます。最大の性能と効率のために、901eはレーザー積層プロセスチャンバー、ロボットウェハハンドリングマシン、物理的な位置決めツール、およびエアーハンドリングアセットなど、いくつかのコンポーネントで設計されています。作動中、モデルのレーザーは正確なガイダンスのために動力を与え、直後にロボットウェーハ処理装置が続いた。ウェーハハンドラは、それぞれの供給スポットにウェーハを配置し、オペレータの設定に応じてプロセスチャンバーまたはアニーリングトレイに移動します。レーザーベースのシステムは、ロボット処理システムがワークから材料を離陸すると同時にアブレーションを開始します。これにより、スループットの向上、一貫した出力、迅速なターンアラウンドが実現します。アブレーションプロセス中、エアーハンドリングユニットが動作して、エラント材料のプロセスルームをクリアし、最大限の安全性と精度を確保します。901 Eは、適応可能で高精度なパフォーマンス、信頼性の高い操作、最大限のスループットの適切な組み合わせを備えた完全なパッケージです。すべてにおいて、TEGAL 901eは、効率的な生産時間と機敏な機械能力を備えたクリーンで正確な処理を実現するための理想的な選択肢です。