中古 TEGAL 901e #9279345 を販売中

ID: 9279345
ウェーハサイズ: 6"
System Single chamber, 6" For silicon etch with SF6.
TEGAL 901eは、高度な高精度エッチャー/アッシャーで、さまざまな産業、研究、教育アプリケーションに使用できます。このユニットは、優れた精度でさまざまなエッチングおよびアッシング操作を実行するように設計されています。TEGAL 901 Eはステンレス鋼、アルミニウムおよび黄銅のようなさまざまな材料に良質のエッチングか灰を、提供できます。このユニットは、さまざまな設定やパラメータに対応できる自動装置を備えています。これにより、デバイスがエッチングまたは灰を正確に制御できるため、再現可能な高品質の結果を得ることができます。901eはスタンドアロンユニットであり、他のシステムに接続することができ、追加の機械と統合することができます。このユニットは完全に自動化されたシステムを持ち、エッチングまたはアッシュパラメータを制御することができ、幅広い結果を生み出すことができます。このユニットは、ツールの修理またはメンテナンスに必要な手動調整時間を短縮するように設計された自己調整ユニットを備えています。901 Eには、エッチングまたは灰を正確に制御するための内部電源とデジタル制御が装備されています。このユニットにはタイミング機構とソフトウェアコントロールマシンがあり、オペレータはエッチングまたは灰プロセスのさまざまなパラメータを選択することができます。さらに、ユニットをホストコンピュータに接続して、遠くからエッチングまたは灰を制御することもできます。TEGAL 901eは平らな表面および輪郭を描くことができます。その精度と信頼性により、さまざまなエッチングまたはアッシング操作に最適です。コンパクトで省スペース設計で、既存のほとんどの生産環境に簡単に設置できます。また、CE、 UL、 CSA認証を取得しており、安全で高品質な製品であることを証明しています。このユニットには、オペレータが必要な安全基準に準拠することを保証するために、インターロックツールなどのさまざまな安全機能が装備されています。この資産はまた、使いやすく維持しやすいように設計されており、産業、研究、教育アプリケーションに最適です。さらに、幅広い結果を出すことができ、さまざまなエッチングやアッシング作業に最適です。
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