中古 TEGAL 901e #9269137 を販売中

TEGAL 901eは、大量生産アプリケーション向けに設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。最大6ミクロンの精度で、多種多様な素材をエッチングできる自動加工機です。最高レベルの精度と再現性を提供し、窒化ケイ素、アルミニウム、タングステンなど、さまざまな材料でエッチングすることができます。最大ウエハサイズは12インチで、プロセスオペレータパラメータに対応できます。TEGAL 901 Eのエッチングチャンバーはクローズドボックス設計で、エッチング結果を最適化するための正確な温度と流量条件を実現します。CDコントロールは最先端のリニアエンコーダユニットで、複数の実行にわたって正確で繰り返し可能なプロセス結果を提供できます。チャンバー自体は、低リーク、ステンレス鋼構造で構成されており、堅牢な冷却システム性能のためのコールドウォールチャックが含まれています。プロセスレベルの機能に加えて、901eには汎用コンピュータ制御ユニットや広範なデータロギング機能など、さまざまなプロセスモニタリングおよびデータロギング機能が搭載されています。これにより、プロセスパラメータが記録され、一貫性を持って追跡され、プロセスまたは設定の変更が正確に報告されます。これにより、生産量を改善し、一貫性を保ちながら、結果を分析するための信頼できる基礎を提供することができます。901 Eはまた、プロセス全体を通して安全関連要因の監視を可能にする安全評価機を備えた堅牢な安全プログラムを提供しています。また、自動シャットダウン機能を備えており、緊急時にプロセスを安全かつ効率的にシャットダウンすることができます。全体的に、TEGAL 901eは高度で高度なエッチャー/アッシャー工具であり、エッチングおよびアッシング材料の信頼性、時間効率、正確な方法を提供します。ファインラインエッチングからディープエッチングまで幅広いプロセスに使用でき、大量生産アプリケーションに最適なソリューションです。その優れた精度と再現性により、多くの異なる材料を精度と精度でエッチングすることができ、ビジネスの成功と収益性を高めることができます。