中古 TEGAL 901e #9247682 を販売中

TEGAL 901e Etch/Asherは、超大型ウェーハ操作用に設計された高度なリソグラフィ装置です。これは、すべてのデバイスタイプに対して均一で等方性のエッチングと平面化プロセスを提供します。このシステムは、細胞側および基板準備技術の最新の進歩を活用して、すべてのエッチングおよび平面化プロセスの優れた均一性と制御を提供します。TEGAL 901 Eは330mmの広いアクティブ領域を利用し、シングルステップとマルチステッププラットフォームの両方で利用でき、よりダイナミックなレシピとエッチング構造の柔軟性を可能にします。このプラットフォームは、Windowsベースのレシピソフトウェア、TEGAL Recipe Manager （TRM）によって推進され、オペレータはカスタマイズされたレシピを構築し、操作を合理化し、スループットを向上させることができます。901eのキセノンランプ駆動光源とSmart Heaterソフトウェアコントローラは、幅広い温度で優れた写真定義可能なエッチング結果を可能にし、オペレータは生産環境の均一性と速度の両方を組み合わせることができます。さらに、このユニットは高速転送とスキャン能力を備えており、最大スキャンレートは300mm/secです。901 Eは安全性を念頭に置いて設計されており、多くの安全指向の機能とオペレータに対する警告を備えています。このマシンは、高いハードウェアとソフトウェアの信頼性を確保するために、多くのフェイルセーフテストを受けています。ハードウェアをサポートする点では、TEGAL 901eはさまざまなホストコンピュータに接続でき、幅広いオペレーティングシステムとの互換性を提供します。さらに、このツールは、ほとんどの標準的なリソグラフィーツールからCAMファイルを受け入れることができ、生産中の精度と品質を保証するために確認データファイルを出力することができます。TEGAL 901 Eは、高い信頼性、柔軟性、および制御性を提供する、超大型ウェーハ操作に最適です。アセットの実証済みの均一性、速度、効率により、ユーザーは精度と精度の高いデバイスを生産することができます。