中古 TEGAL 901e #9244749 を販売中

TEGAL 901eは、電子回路や微細構造表面の精密エッチング用に設計された高度なプラズマエッチャー/アッシャーです。直径200mm （8インチ）までの基板加工が可能で、毎分最大10ミクロンのエッチング速度に達することができます。TEGAL 901 Eは、反応性の高いプラズマを基板に適用するために、直接結合プラズマ（DCP）技術を利用しています。このプラズマは、無線周波数エネルギーによって駆動され、901e内の絶縁された換気室で生成されます。このプロセスは、基板の表面に損傷を与えることなく、ワークスペース全体にわたって正確で均一なエッチング応答を作成します。さらに、処理チャンバー全体がプラズマを含んでいるように特別に設計されており、作業スペースに逃げるのを防ぎます。901 Eは、デジタル制御された多次元ガス配電装置を使用して、正確なビームプロファイル制御とセットアップも可能です。このガス配送システムにより、ユーザーはビーム配送プロファイルを正確に制御し、エッチングの垂直または水平のステップロードを排除できます。TEGAL 901eは、精度と動作中の一貫性を確保するために、高度なプロセス制御と監視システムの範囲を提供しています。正確で再現性のある性能を確保するために、リアルタイムの温度および圧力読み出しを提供します。このユニットはまた、プロセスパラメータを監視し、結果のデータをわかりやすい形式でグラフィカルに表示するためのさまざまなセンサーとフィードバックシステムを提供します。さらに、TEGAL 901 Eは、チャンバーと基板の温度を調節するための統合されたクーラント供給機を備えています。このクーラントデリバリーツールは、さらに制御し、精度と再現性を高めるために調整することができます。901eはまた、資産の意図しない動作を防止するためのインターロックドアスイッチなどの安全性と利便性の機能を提供します。また、自動的に高低アラームと関連プッシュボタンが付属しています。全体的に901 Eは、直径200mmまでの基板を精度と再現性で処理するために設計された効率的で精密なエッチャー/アッシャーです。リアルタイム温度および圧力読み出し、デジタル符号化ビームプロファイル制御、統合クーラントモデル、安全システムなどの高度な機能により、あらゆる精密エッチングまたはアッシングアプリケーションに最適です。