中古 TEGAL 901e #9217066 を販売中

TEGAL 901eは、Soft X線技術を活用したエッチャー/アッシャーで、他のパターニング技術よりも細かい分解能で材料を形作り、加工します。TEGAL 901 Eは、エネルギッシュなX線光子のプログラム可能なビームを使用して、材料の層を正確にエッチングし、クリーンで滑らかなエッジと優れたディテールで望ましいパターンと形状を作成します。901eは、他のシステムと比較して比較的低コストで1。5nmの小型の高精度で高速な材料パターンを提供します。半導体エレクトロニクスおよびMEMS市場における研究開発および生産アプリケーションの両方のために設計されています。バルクエッチングや表面エッチング、パターン定義成膜・除去、RIE（リアクティブイオンエッチング）、MEMSなどの高度な高解像度プロセスを実現します。901 Eは、シングルターンキーユニットとしてSoft X-Rayと光学システムコンポーネントを統合することでユニークです。この統合により、エッチャー/アッシャーは市場の他のマシンとは異なり、丸みを帯びた機能のセットを提供します。このツールは、完全にカスタマイズ可能なユーザーインターフェイスにより、ルーチンのプロセス品質を向上させ、繰り返し可能な結果を微調整することで、24時間365日安全に動作するように設計されています。TEGAL 901eは、シングルピースモノクロメータ搭載のX線源と、ビームをターゲット基板に導く多軸電子ビームコリメーションオプティクスをベースにしています。また、用量、フォーカス、エッチングレートなど、さまざまな可変パラメータを提供します。クローズドループのデジタルフィードバックループは、エッチングの進捗状況を監視して一貫した結果を保証します。一方、さまざまな環境制御機能により、資産が安全かつ効率的に実行されます。TEGAL 901 Eはアルミニウムおよびケイ素の酸化物のエッチングの化学薬品と互換性があります。901eは、効率とスループットを向上させるとともに、コストとダウンタイムを最小限に抑える高度なオートメーション機能を備えています。複雑さとセットアップ時間を短縮する統合レシピ管理と、再現性の高いプロセス性能と歩留まりの向上を保証する自動欠陥管理が含まれています。さらに、このモデルは、複数の場所からのリモート監視と制御をサポートしています。全体として、901 EはR&D、プロトタイピング、生産ニーズに最適なエッチャー/アッシャーです。統合されたSoft X線装置、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、および高精度の結果により、幅広いアプリケーションにおいて信頼性が高く費用対効果の高い選択肢となります。