中古 TEGAL 901e #9196408 を販売中
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ID: 9196408
ウェーハサイズ: 4"-6"
Reactive ion etcher (RIE), 4"-6"
ENI ACG-10T
RF Generator
THERMO NESLAB M75.
TEGAL 901eは、MEMSおよび半導体製造プロセスに特化して開発されたエッチングレジストで使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、広範囲の生産に適した可変パラメータを備えた高出力パルスレーザーを備えています。それは銅、モリブデン、アルミニウム、ケイ素、ポリシリコン、酸化物およびガラスを含むさまざまな基質の速く、正確、信頼できるエッチングを提供できます。TEGAL 901 Eは、エッチングレジスト開発の精密かつ正確な制御のために設計されています。このデバイスの高出力レーザーは、レーザドリフト、露出の長さ、およびエッチング時間の特定の制御を可能にします。さらに、このデバイスには、生産中の安全性を確保するための多くの安全機能が装備されています。これらの安全機能には、緊急停止ボタンと、i-cableが切断されているか、レーザーが最大ビーム電力に達している場合に鳴る可聴アラームシステムが含まれます。このデバイスには、アクティブ電源、レーザーエミッター、光ファイバ配信ファイバ、および計算プロセッサを含むデジタル制御ユニットも装備されています。この組み合わせにより、正確で一貫したエッチング結果が得られます。901eは使いやすさと所有コストの低さも特徴です。ユーザーはすぐにパラメータを変更し、追加の時間やお金なしでデバイスを再プログラムすることができます。さらに、このデバイスは、コダック、Photopat、およびPositiveのさまざまなエッチングレジストで動作するように設計されています。さらに、このデバイスは多数の標準厚ウエハと互換性があるため、幅広い生産が可能です。結論として、901 Eは多様な基板の精密エッチング用に設計された、汎用性と信頼性の高いエッチング/アッシング装置です。高出力レーザー、安全機能、デジタルコントロールユニットは、半導体やMEMS業界にとって貴重なツールです。さらに、使いやすさと所有コストの低さにより、あらゆるサイズの生産に理想的なソリューションとなります。
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