中古 TEGAL 901e #9191347 を販売中

TEGAL 901eは、シリコンウェーハおよび関連半導体コンポーネントの製造用に設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。エッチング速度、温度、圧力などのプロセスパラメータを制御する高度で正確なクローズドループ制御装置を搭載し、ユーザーに一貫した最適なパフォーマンスを提供します。TEGAL 901 Eは、高精度の自動レート制御システムと、精密な圧力制御と正確な再現性を提供するクローズドループ圧力制御ユニットを含む、エッチングおよびアッシングプロセス用に特別に設計された多数の制御および機能を備えており、一貫した結果を保証します。さらに、このユニットには統合されたクールダウンマシンが含まれており、チャンバーと材料を効率的に冷却することができ、精度が向上し、歩留まりが向上します。901eは、操作が簡単で、すべてのプロセス制御および監視機能にステップバイステップの指示を提供する柔軟でユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを搭載しています。このユニットは、最大10個のレシピを保存およびロードすることも可能で、追加のセットアップ時間を最小限に抑えてさまざまなウェーハおよびコンポーネント設計を迅速かつ正確に作成するのに理想的です。901 Eは、危険な温度、内部圧力、および漏れに対する監視および警告システムなど、さまざまな安全機能を備えて設計されています。また、エッチャーは、温度と圧力の設定が変化し、ガスと蒸気の制御のための強力なアルゴンウォッシュで、最適なプロセス環境を維持するように設計されています。さらに、TEGAL 901eは、作業環境を清潔で安全に保つためのパーティクルコレクションツールを内蔵しています。TEGAL 901 Eは、シリコンウェーハおよび関連部品の製造用に特別に設計された信頼性の高い高度なエッチャー/アッシャーです。クローズドループプロセス制御、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェース、高度な安全機能を備えているため、信頼性と精度の高いエッチング、アッシング、およびウェーハ生産に最適なツールです。