中古 TEGAL 901e #9181762 を販売中

TEGAL 901eは、フォトリソグラフィおよび薄膜堆積技術に使用される最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、最新の真空および反応チャンバー設計を利用しており、非常に信頼性が高く、再現性が高く、正確です。TEGAL 901 Eはまた、ミッドレベルユニットにとって前例のないレベルのコスト効率を提供します。901eの反応チャンバーは直径24インチで、トップローディングウェーハホルダーを使用しています。ウェーハホルダーと反応容器はともにステンレス製で、機械の熱安定性に優れています。このツールはまた、印象的な温度制御、熱電対セットポイント、および幅広いプロセス温度を可能にするサブアンビエントベンティング機能を備えています。このアセットはデュアルソース設計を利用しており、同じチャンバ内の両方のソースのロードとアンロードを可能にし、比類のないスループットと効率を提供します。ソースは、処理中の干渉を最小限に抑えてロードおよびアンロードすることができます。901 Eはまた、金属酸化物の蒸発速度を正確に制御し、フィルム特性を正確に予測することができます。TEGAL 901eは、フォトリソグラフィ、金属酸化物蒸発、薄膜蒸着、フィルムエッチング、フォトレジストストリッピングなどのプロセスのための優れたプラットフォームです。幅広い用途に適した堅牢で信頼性の高いモデルであり、ミッドレベルシステムにとっては費用対効果が高い。高信頼性、再現性の高いプロセスサイクル、優れた温度制御、低メンテナンス要件、低い運用コストを備えているため、大量生産環境に最適です。