中古 TEGAL 901e #9072033 を販売中

TEGAL 901eは、半導体製造用に設計された最先端のアッシャー/エッチャーです。本装置は、様々なサイズや素材のウエハを素早く正確にエッチング・アッシャーウエハ化することができる自動運転装置です。TEGAL 901 Eは、高周波インダクション（HFI）技術を使用して、高品質のエッチング速度と両面ケミカルアッシャー機能を実現し、幅広いアッシング要件に対応しています。このシステムはまた、エッチングとアッシャーの両方の要件のための10nmの精度を備えています。901eの堅牢な性能は、自動化されたツールヘッドと統合されたガスディストリビューターマシンを備えた高度なプロセスチャンバーを含む高度なウエハー処理ユニットに由来しています。これにより、ユーザーはレーザーで非常に正確なパターンを作成し、最高レベルの再現性、精度、およびスループットを確保することができます。また、このツールは高度な真空アセットを使用して、効率的かつ再現可能な真空圧力設定とシーケンスを可能にします。901 Eには高度な制御ソフトウェアパッケージがあり、ユーザーは手動または自動ですべてのプロセスパラメータを監視および制御できます。また、ウエハハンドリング機能を自動化し、最大4つのウエハーを同時にエッチングおよびアッシャーできるため、高速かつ効率的な大量生産が可能です。統合された高精度のクローズドループウェーハアライメント装置により、正確なアライメント精度を実現します。TEGAL 901eは高級な材料および部品から組み立てられ、それを非常に信頼でき、耐久にします。このシステムは、使いやすいソフトウェアインターフェイスと高度な機械的および電気的安全システムで、ユーザーフレンドリーでメンテナンスに優しいように設計されています。結論として、TEGAL 901 Eは高度なAsher/Etcherであり、幅広い半導体の製造要件に対して正確かつ再現性のある結果を出すことができます。このツールは、高度なウェーハ処理ユニット、クローズドループウェーハアライメントマシン、および自動ウェーハハンドリング機能を備えており、幅広い半導体アプリケーションの高いスループットと精度要件に対応するように設計されています。