中古 TEGAL 901e #9071867 を販売中

ID: 9071867
In-Line Single Wafer Plasma Etcher, 4" - 6" Cassette to cassette Currently configured for 6" wafers Super Spatula transport Generator: ENI ACG-10B Monitor: Dec VT 520 MFC's: UNIT 8100 Atmospheric sensor for venting Temperature controller: choice of Neslab or Tek-Temp Dry pump: Edwards QDP40 208V, 3 phase.
TEGAL 901eは、半導体業界で広く使用されている最先端のエッチャー/アッシャーです。これは、エッチングからアッシングまで、幅広いタスクを実行することができる、市場で最も汎用性と強力なアッシャーの一つです。TEGAL 901 Eは信頼性が高く、費用対効果が高く、さまざまなアプリケーションに最適なソリューションです。901eは、エッチングとアッシングのすべてのタイプのための優れた選択肢となる多くの機能を誇っています。アルゴンや酸素をはじめとする多種多様なガスや、各種エッチングやアッシングに最適な温度範囲を提供しています。901 Eはまた、作業エリア全体でガスと温度の安定した流れを提供する高効率の電源とポンプを備えています。さらに、TEGAL 901eには、温度、ガス、圧力センサーなどの安全機能や、粒子濃度用のフィルターがあります。TEGAL 901 Eは、スピンエッチング、化学機械研磨、化学エッチング、化学機械研磨など、さまざまなエッチングおよびアッシング技術が可能です。901eはウェットエッチングも可能で、ウェットベンチと組み合わせることで利便性を高めています。効率的なエッチングとアッシング操作を容易にするために、901 EはユーザーフレンドリーなPC制御システムを備えています。このシステムは、温度、圧力、およびリアルタイムでカスタマイズおよび更新可能なその他のパラメータのリアルタイムグラフを含む幅広い機能を提供します。TEGAL 901eはまた、レシピや診断プログラムを提供しており、正しく動作していることを確認するだけでなく、迅速なプロトタイピングと製品テストのためのレシピアップロード機能も提供しています。TEGAL 901 Eは、最高品質の作業と精度を確保するために、大規模なテラス付きワークスペースを備えており、サンプル材料を簡単に移動できます。901eはまた、オペレータとエッチングとアッシング操作の両方を保護するために、ガス検出器や緊急空気脱出などの多くの安全機能を備えています。901 Eは、あらゆるタイプの半導体エッチングおよびアッシング操作、およびその他のより一般的なアプリケーションに理想的なエッチャーおよびアッシャーです。効率的で洗練されたデザインと使いやすいPC制御システムにより、TEGAL 901eはさまざまなエッチングおよびアッシング操作に最適です。
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