中古 TEGAL 901e #9009940 を販売中

TEGAL 901eは、信頼性の高い正確なエッチングとアッシングプロセスを提供しながら、高いレベルの性能と柔軟性を生み出すように設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャーは、III-V半導体材料やMEMS材料などの互換性のある基板と組み合わせて使用することができます。TEGAL 901 Eは、低圧、プラズマ支援デバイスとして、高真空、低圧RF、低圧酸素環境など、あらゆる環境で優れた処理能力を提供します。901eは頑丈な100％ステンレス製のチャンバーから構成されており、EHDヒーターとセンサー付きの安全エンクロージャが含まれています。これにより、幅広い温度と圧力にわたるプラズマプロセスが可能になります。エッチャーはクォーツウィンドウのビューポートを備えており、現場での観察が可能です。独立して制御され、加熱されたシールドは、主要なエッチング/灰コンポーネントの汚染とクロス汚染を排除します。901 Eは、手動モードと完全自動モードの両方で使用できます。手動操作のために、ユーザーは独自にそして正確にエッチングの間に圧力およびRF力を制御できます。さらに、エッチャーには4次元シーケンシャル機能があり、エッチングとアッシングパラメータのシーケンスを設定し、リセット時間を最小限に抑えて複数回繰り返すことができます。この機能は、プロセスの再現性と生産性を最大化するのに役立ちます。包括的な診断および制御システムにより、ユーザーはプロセスパラメータを表示し、複数の処理パラメータを監視および制御し、レシピを保存、リコール、転送することができます。また、プロセス関連の履歴を追跡するための高度なデータロギングも提供しているため、ユーザーはプロセスの問題を効率的に診断することができます。TEGAL 901eは、手動ウェハローディングからカセット対応ウェハトランスファー、絶縁ロードロック、ロードチャンバー、アンロードチャンバーまで、ウェハハンドリングのさまざまな方法で設計されています。例えば、ロードロックチャンバーは、パーティクルフリーエッチングとアッシングのための独立した大気圧力制御を可能にします。これらのすべての機能を組み合わせることで、TEGAL 901 Eは、研究および生産アプリケーションの両方のエッチングおよびアッシングプロセスに対して汎用性と優れた性能を提供します。高品質な部品の製造において、高スループット、再現性、信頼性を提供します。