中古 TEGAL 901e #9004063 を販売中

TEGAL 901eは、高収率の製品の生産スループットを維持するために設計されたバッチ式プラズマエッチング/デスメアリング装置です。これは、低圧および高圧レジームで動作することができ、エッチング、安定化、および/または材料（金属、プラスチック、セラミックスを含む）の広い範囲をdesmearingためのさまざまなプロセスのオプションを提供しています。TEGAL 901 Eは、エッチング/デスミアリングシステムのリーディングプロデューサーであるTEGALのプレミアムエッチャーと考えられています。それは国際的な品質基準に従って製造され、良質の部品を利用します。システムは2つのチャンバーで構成されています。1つの能動的および1つの受動的。この2チャンバ構造は、エッチング効率を最大化するとともに、より高いチャンバ圧力下で生成できる有害な副生成物を排除します。901eは、アクティブパワーセービング機能とパッシブパワーセービング機能を組み合わせた工業用グレードの電源を備えており、信頼性と再現性を確保します。内蔵マイクロプロセッサは+/-0。5 Torr内の圧力を維持し、プラズマ源の圧力とバイアスを制御的に調整できます。不活性ガスの単位は効果的に酸化を制御できます。901 Eは最高の安全のために設計されています。圧力センサー、チャンバーインターロックスイッチ、非常停止スイッチ、フェイルセーフコントローラを装備しているため、危険なプロセスを監視し、必要に応じて停止します。さらに、機械はまた、有害なガスや粒子から人員を保護する内蔵の接地工具と内部チャンバーバイパスフィルターでオペレータの安全を保証します。内蔵の使いやすいタッチスクリーンコンソールにより、パラメーター設定にアクセスし、リアルタイムでエッチング処理を監視できます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはプロセスの重要な側面を簡単に監視し、必要な調整を行うことができます。TEGAL 901eはプロセスを自動的に作動させるためにプログラムすることができ、操作および維持を容易にします。TEGAL 901 Eは、高い生産性、反復可能な結果、信頼性の高い安全機能を提供するプレミアムエッチング/デスミアリング資産です。その高度な設計により、幅広い材料やプロセスに適しており、直感的なユーザーインターフェイスにより、操作が簡単で便利です。