中古 TEGAL 901e #70083 を販売中

TEGAL 901eは、最新の微細加工プロセス向けに設計された最先端のプラズマエッチングおよびアッシャー装置です。半自動化されたこのシステムは、幅広い応用分野に適した斬新な設計を備えており、研究者、エンジニア、産業プロセス開発者にとって理想的な選択肢となっています。TEGAL 901 Eは、高速プラズマエッチング速度、優れたプロセス制御、精密比リニアエッチング深度制御など、手動エッチングおよびアッシング技術に比べて多くの利点を誇っています。901eの10 「x 8」の大きい作業領域は大きい基質のサイズの高いスループットそして急速な処理を可能にします。強力なRFジェネレータユニットにより、ユーザーは納入電力を正確に制御できます。エッチングのレシピは、ガスの流れ、圧力、室温、その他の変数などのプロセスパラメータを変更することで、微調整パラメータの設定や再現性のある高精度な結果を得ることができます。ユニークなチャンバー設計は、プロセスの効率を最大限に高め、汚染を最小限に抑えるために調整されているため、粒子数が極めて低く、均一性が最適です。901 Eはまた、方向性および異方性エッチング/アッシング、高アスペクト比の構造、および異なる材料の選択性の向上など、高度なエッチングおよびアッシング機能へのアクセスを提供します。この機械は、エッチングの深さと幅を正確に制御するために設計されており、研究者はエッチング実験、プロセス特性評価、開発を行うことができます。TEGAL 901eはタッチスクリーン操作を特徴とし、直感的なユーザーコントロールを可能にし、簡単なレシピ作成、エッチングレート監視、プロセス分析を可能にします。より複雑なアプリケーションには、TEGAL 901 Eには包括的なオンボードデータシステムが搭載されており、ユーザーに詳細なプロセスフィードバックを提供します。このツールの人間工学に基づいた設計により、簡単な洗浄、定期的なメンテナンス、生産におけるアップタイムの延長が可能になります。結論として、901eは信頼性が高く、高性能なプラズマエッチングとアッシャー資産を探している人にとって優れた選択肢です。最高レベルの精度と細部へのこだわりで構成され、一貫した信頼性の高いパフォーマンスを保証します。901 Eは優れたスループット、精度、制御を提供し、微細加工プロセスに最適です。