中古 TEGAL 901e #70082 を販売中

TEGAL 901eは、マイクロエレクトロニクス、医療機器製造、ライフサイエンス、ナノテクノロジーなどの幅広い業界で使用されるように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高いスループットと精密なエッチングを可能にする幅広い機能を備えており、マイクロおよびナノデバイスおよび回路の製造が可能です。TEGAL 901 Eは、精度と高スループットを提供する高度な電子ビームリソグラフィ技術に基づいています。超微細エッチングを実現し、幅広い基板や素材に複雑なパターンや特徴を作り出すことができます。基板の正確なアライメントのための電動ステージと光学顕微鏡、基板位置決めとエッチング深さのための真空チャッキングシステムが付属しています。これにより、微細なパターンをナノメートルレベルまでエッチングすることができます。901eは、100pA/Vから10,000pA/Vまでの加速電圧で0-30KVまで幅広いビーム電流を生成することができるガリウムヒ素電子銃を使用しています。これにより、現代のマイクロおよびナノデバイスの製造に必要な細線幅やその他の複雑な機能を作成することができます。また、ビーム明るさとフォーカスを調整するための統合されたソフトウェアと、アライメントとパターニングを備えています。それはまたほとんどの標準的なプロセス部屋と完全に互換性があり、いろいろな適用で使用することができます。このマシンには12インチのウェーハキャリアプレートが付属しており、直径8インチまでのウェーハを処理できます。901 Eには、インターロック資産、ハロゲンランプ警告モデル、Eストップスイッチ、多重化スイッチ、安全機能を備えた水冷回路など、人員とツールの安全を確保するためのさまざまな安全保護メカニズムも含まれています。全体として、TEGAL 901eはパワフルで汎用性の高いエッチャー/アッシャーで、最新のマイクロおよびナノデバイス製造アプリケーションに最適です。直感的なソフトウェアインターフェイス、さまざまな安全機能、および複雑なデバイス製造のための精度とスループット機能を備えています。