中古 TEGAL 901e #70079 を販売中

TEGAL 901eエッチャー/アッシャーは、比類のない精度で高精度で大量のエッチングとアッシング処理を行うことができる高度なボットです。TEGAL 901 Eはカスタマイズ可能なヒギンスピードエッチャー/アッシャーで、半導体業界のさまざまな高度なアプリケーションに特に適しています。901eは、エッチングとアッシング化学物質の正確なボリュームを毎回迅速かつ正確に提供する高度な化学配送システムを備えています。これにより、すべての基板エッチングおよびアッシング処理が定義された仕様内で迅速かつ正確に行われることが保証されます。901 Eはまた、ウェーハを自動的に配置してスループットを向上させる高度なステージシステムを備えています。さらに、エッチングおよびアッシング処理の解像度と定義を正確に制御し、ユーザーが基板を最大限に活用できるため、最も正確なプロセスと結果を保証できます。TEGAL 901eは、完全に統合されたソフトウェアプラットフォーム上に構築されているため、既存のプロセスに簡単に統合でき、複雑なエッチングとアッシングプロセスを厳格な仕様にカスタマイズできる堅牢なプロセス制御技術を備えています。また、エッチングおよびアッシングプロセスパラメータを自動的に制御して、プロセスがヒッチなしで実行されることを確認することもできます。TEGAL 901 Eの最も有益な機能の1つは、幅広い材料厚さでエッチングして灰を出す能力です。これは、独自の多段エッチングオプションによって実現され、ウェーハの厚さでエッチングを行うことができ、ユーザーは基板を最大限に活用することができます。ユーザーはまた、さまざまな高度なプロセスオプションとカスタマイズツールにアクセスでき、エッチングとアッシングプロセスパラメータを微調整できます。901eには、ユーザーがプロセスステップを監視し、プロセスパラメータを追跡し、エッチングとアッシングプロセスの結果を追跡できるさまざまなセンサーもあります。全体として、901 Eエッチャー/アッシャーは、高度で強力で信頼性の高いエッチングおよびアッシングボットであり、さまざまな半導体アプリケーションに最適です。その高度な化学およびステージシステム、精密なプロセス制御、および幅広いエッチングとアッシングのオプションにより、ユーザーは基板とプロセスを最大限に活用することができます。