中古 TEGAL 901e #293811529 を販売中

TEGAL 901eは、ウェーハの精密エッチングおよび/またはアッシング用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。TEGAL 900シリーズアーキテクチャに基づいて構築され、新しい材料、革新的なエンジニアリング、最先端の技術を組み込んだTEGAL 901 Eは、さまざまなデバイス構造の高い歩留まり生産が可能です。901eは、メンテナンスとアップグレードを容易にするためのモジュラーアーキテクチャを備えています。エッチャー/アッシャー装置は、最高品質の材料から構成され、性能と耐久性を向上させます。このシステムは、複数の真空チャンバ設計、改良されたガスシールド、低圧低温（LP/LT）エッチング処理など、エッチングおよび洗浄技術の最新技術を特長としています。150mmウェーハの処理能力により、901 Eの効率が向上し、ウェーハ間のクリーンアップを削減し、スループットを向上させることができます。また、TEGAL 901eは統合された温度制御ユニットを備えており、エッチングチャンバー全体で一貫した温度環境を実現します。これにより、エッチングの均一性の向上と汚染の防止が保証されます。また、自動化された監視および制御ツールを備えているため、オペレータはプロセスの状態を追跡し、必要に応じて調整を行うことができます。TEGAL 901 Eは、デバイスの正確で高品質のエッチングとクリーニングを提供するために特別に設計されています。901eには、自動化されたプロセスチューニング、プロセスエミュレーション、診断機能など、さまざまなプロセス最適化ツールが含まれており、デバイスの精度と品質をさらに向上させます。さらに、運用とメンテナンスを容易にする直感的なユーザーフレンドリーなソフトウェアのスイートを誇っています。このソフトウェアは、オペレータがクリーンで制御された環境内でプロセスをスケジュール、監視、管理するのに役立ちます。最適な品質管理、柔軟なプロセススケジューリング、および最小限のダウンタイムを確保するように設計されています。901 Eは、高度な半導体デバイスの製造における主要なエッチャー/アッシャーです。これは、プロセス設定をカスタマイズする柔軟性と、自動監視および制御モデルの利便性とともに、迅速で正確なエッチングおよびクリーニング機能を提供するように設計されています。TEGAL 901eは、さまざまな業界の半導体製造に最適です。