中古 TEGAL 901e #293723711 を販売中

TEGAL 901eは、高度なシングルウェーハ誘電エッチングとアッシャーのプラットフォームです。この装置は200mmウェーハを処理するように設計されており、濡れたプロセスと乾燥プロセスの両方をサポートするように構築されています。エッチャー/アッシャーは、水平および垂直の両方の構成で迅速かつ正確なエッチングプロセス制御と温度の均一性を可能にするモジュラーシステムです。単位は容易なデバッグおよび速い反作用時間を可能にする作り付けの理性的なプロセス制御技術の自慢します。エッチャーとして、TEGAL 901 Eは、より高いスループットとより大きなプロセス制御を提供するために、前任者と同じ原則に基づいて構築されています。エッチャーは、最大+/-0。005 umの精度で高いアスペクト比のエッチングを生成することができ、ウェハの上面への損傷を最小限に抑えることができます。アッシャーとして、901eは微粒子や粒子を最小化するための高度なプラズマ化学制御を提供します。さらに、強化されたビーム制御技術を利用して、ウェーハの表面全体に均一なエッチングを提供します。このツールはまた、粒子を効果的に捕捉し、汚染を最小限に抑える持続可能な水中フィルター資産を備えています。901 Eには専用のサイドウォール保護シャワーと、安全で信頼性の高いエッチングとアッシングを可能にする加熱されたシャワープレートがあります。さらに、このモデルにはFX-Solidポートが搭載されており、ウェハラン中にin-situ SEG測定が可能です。TEGAL 901eには革新的なタッチスクリーンインターフェイスが装備されており、ユーザーはプロセスを迅速かつ簡単に設定および監視することができます。また、後処理のトレーサビリティと、効率的なプロセス監視とCDの再現性を可能にする統合メディア管理システムも提供しています。正確な化学制御を実現するために、このユニットは高度な自動化回路を内蔵しており、プロセスパラメータを継続的に監視および維持します。さらに、TEGAL 901 Eのデータ通信プロトコルは、外部デバイスや業界標準ソフトウェアとの容易な統合を可能にします。901eは最高の安全基準を満たすように造られ、それを生産環境のための理想的な選択にします。機械の堅牢な構造は、信頼性と安全な動作を保証し、高度なウェーハ処理のための信頼性の高いエッチャー/アッシャーソリューションです。