中古 TEGAL 901e #293654398 を販売中

TEGAL 901eは、エッチングとアッシングの両方が可能な反応性イオンエッチャーです。フラットパネルディスプレイ、直感的なユーザーインターフェース、大容量、高スループット動作を備えた、最先端の半導体プロセスツールです。TEGAL 901 Eは、高度なプラズマエッチング技術を使用して、フォトレジストなどの精密で一貫したエッチングとアッシングを提供します。901eエッチャー/アッシャーには、デュアルエッチングチャンバーとシングルアッシャーチャンバーの3つのチャンバーがあります。エッチングチャンバーは材料をエッチングするために使用され、アッシャーチャンバーは表面から残留物や破片を除去するために使用されます。この製品は直流電源を搭載しており、高性能、完全にコンピュータ制御、およびマイクロコントローラをベースとした機器を備えています。901 Eは高真空システムを使用して、優れた操作性、正確なプロセス制御、汚染のないウェーハを提供します。TEGAL 901eエッチャー/アッシャーには、エッチングとアッシングの両方の設定と調整を行うための高精度のフルカラーLCDタッチスクリーンディスプレイが含まれています。パラメータは、エッチングとアッシングの両方のプロセスで調整可能であり、レート、温度、圧力、およびガス組成を含みます。すべてのパラメータと設定を設定して保存することができ、迅速なセットアップと簡単な操作を可能にします。TEGAL 901 Eは、エッチング工程において、2つの内部不均衡マグネトロンスパッタ源を備えており、ウェーハ上に材料を均一に蒸着させます。アッシングプロセスには、冷間プラズマアッシャーとホットプラズマアッシャーの両方を利用する2つの負荷ロックアッシャーチャンバーが用意されています。901eのRF電源は、完全にコンピュータ制御されたユニットを備えており、エッチングおよびアッシング処理を正確に制御できます。901 Eエッチャー/アッシャーには、統合制御機が装備されており、一度に最大16ウェーハの制御が可能です。ウェーハは1つのベルトに収納でき、複数のウェーハを一括処理できます。TEGAL 901eには高速サンプルロード/検索ツールも搭載しており、高い生産性とスループットを実現しています。TEGAL 901 Eエッチャー/アッシャーは、生産環境に適した効率的で正確かつ費用対効果の高いエッチング/アッシングソリューションです。