中古 TEGAL 901e #293652770 を販売中

TEGAL 901eは、高精度アプリケーション向けに設計された強力なエッチャー/アッシャーです。金属、合金、プラスチック、セラミックス、半導体材料など、さまざまな材料に複雑なパターン、マイクロエッチング、深い構造を作成するために使用されます。TEGAL 901 Eはデュアルビーム、デュアル周波数、デュアルパルスモジュレーションを備えており、妥協のない精度と結果の再現性を実現しています。独自のプランジャーレス自己組立反応チャンバーを採用し、選択可能な圧力範囲は50〜250ミリバーです。この装置は、高真空環境で2500°Cまでのプロセス温度に達することができる温度制御環境で構築されており、高精度のプラズマエッチングが可能です。901eは、高解像度のX-Yスキャナとユーザーが選択可能なZ軸電動変位制御を備えており、エッチングの深さを正確に制御できます。また、高速エッチングレートも備えており、1時間で15,000個のエッチングを上げることができます。901 Eは柔軟性を提供するように設計されており、ユーザーはウェットエッチング、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング、およびエッチングごとに異なる化学物質を選択することができます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスも備えており、ユーザーは簡単にレシピを編集し、リモートインターフェイスからマシンを制御することができます。TEGAL 901eは、集積回路のゲート層を介した反応性イオンエッチング、医療用インプラントの複雑なパターンの作成、ディスプレイや照明器具の高精細画像の作成など、さまざまなエッチング用途に最適です。また、非常に複雑なナノ構造の製造のための異方性エッチングなど、表面処理やマイクロエッチングにも使用されます。全体的に、TEGAL 901 Eは精度と再現性を提供し、ユーザーは優れた精度を維持しながら複雑なデザインを簡単かつ迅速にエッチングすることができます。汎用性の高いデザインと使いやすいユーザーインターフェイスを備えた901eは、強力で正確なエッチャーを探している研究者やメーカーに最適です。