中古 TEGAL 901e #293635731 を販売中

TEGAL 901eは小さい特徴または狭い幾何学が付いている非常に精密なパターンおよびパターンを作り出すように設計されている先進的なエッチャーです。これは、市場で利用可能な最も信頼性が高く、効果的で効率的なエッチャーの1つです。このシステムは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの技術を利用して材料を蒸発させ、ナノスケールまでのサイズで細かく定義された機能を作成できるテンプレートを使用して機能を作成します。TEGAL 901 Eは、業界標準のプラットフォーム上に構築されており、最小限のメンテナンスを必要としながら、クリーンで反復可能な結果を提供することができます。このデバイスは、最大直径500mmの静電チャックを内蔵した自己位置決めワークテーブルを備えており、幅広い基板や材料に対応できます。基板は制御された雰囲気で処理され、信頼性の高い再現可能な処理が保証されます。901eは、インクリメンタルチューニングのためのレシピの選択を可能にするタッチスクリーンユーザーインターフェイスで、完全に自動化されています。レシピは、将来の参照のためにメモリに保存され、あるアプリケーションから別のアプリケーションへのパターンの急速な変更を可能にします。このシステムは、複数のエネルギーのイオンを異なる角度で放出するマルチエミッタンスイオン源を使用して、材料が正確にパターン化されていることを確認します。真空システムは最先端で、長寿命で高精度なエッチングが可能です。901 Eは、エッチングの複数のレベルで精密パターニングを行うように設計されており、半導体デバイスの生産などのアプリケーションに最適です。TEGAL 901eは、高信頼性でパワフルなエッチャーで、多層化された高度なデバイス製造設定で顕著な制御を提供します。そのインテリジェントな機能と最高のパフォーマンスは、プロの設定や高度な材料研究アプリケーションで使用することができます。その信頼できる性能および有効な操作は優秀な結果を保証します。