中古 TEGAL 901e #293618054 を販売中

TEGAL 901eはエッチャー/アッシャーで、基板のエッチングやアッシングに使用されるデバイスの一種です。TEGAL 901 Eは、直径8インチまでの基板のエッチングおよび灰の操作が可能です。901eは人間工学的で使いやすいように設計されています。読み取りやすいLCDスクリーンと自己較正マイクロプロセッサコントローラを備えています。このエッチングおよびアッシング機は、30〜400 mm H2Oの範囲のエアフロー制御バルブを備えており、より正確なエッチングとアッシングのために空気圧を調整することができます。901 Eは、基板の位置決めのためのエッチングおよびアッシング領域を表示するためのカメラを備えた光学監視装置を装備しています。これにより、基板の正確なアライメントが可能になり、エッチングおよびアッシングプロセスが正確であることを保証します。TEGAL 901eも基板回転制御で設計されており、毎秒120度までの基板速度範囲を選択できます。これにより、さまざまなレシピで選択的にエッチングとアッシュを柔軟に行うことができます。また、冷却されたサブリフターアセンブリを備えており、エッチングおよびアッシング処理中に基板をHe冷却することができます。TEGAL 901 Eは、コントロールパネルに統合された2つの高感度ガス投与システムを備えています。また、高度な空中パーティクルモニタリングシステムを備えており、オペレータは動作環境のパーティクルレベルをチェックすることができます。901eにエッチングおよびashingプロセスのためのアニーリングオーブンそして熱転写制御があります。また、エッチングとアッシングのプロセスをさらに改善するために、真空ユニットとベーキングステーションを統合しています。901 Eには、緊急停止ボタン、低電流監視機、紫外線や摩耗の危険を検出するUV照明など、いくつかの安全機能が装備されています。TEGAL 901eはポリマーフィルム、ホイルおよびフィルムのような敏感な基質のエッチングおよびashingのために特に高いエッチング率、反復性および均一性を達成するように設計されています。フォトマスク、液晶ディスプレイ、有機発光ダイオード、薄膜などの基板エッチングやアッシングに最適です。TEGAL 901 Eは、あらゆる基板でエッチングおよびアッシング操作を成功させることができる高度で信頼性の高いデバイスです。