中古 TEGAL 901e #293616017 を販売中

TEGAL 901eは、多種多様な電気化学および関連プロセスで使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。大型ツールキャッチに対応可能なマルチチャンバー設計を特徴としています。4つのチャンバはそれぞれ独立して制御されており、各チャンバ内の異なる基板や材料のエッチングとアッシングを同時に行うことができます。TEGAL 901 Eには3ゾーンの温度制御装置が装備されており、ツールチャンバー、ソリッドプリカーソルデリバリーチャンバー、エッチングチャンバーの温度を個別に調整できます。温度は+/-1°Cの精度で調整され、エッチングまたはアッシング時にプロセスパラメータを正確に制御できます。901eはまた5ガス混合の配達システムを含んでいます、正確な範囲内の酸素、塩素、アルゴン、窒素および二酸化硫黄のレベルを調節することを可能にします。パワフルな901 Eは、リアルタイムのデータ収集ユニットを使用して、プロセスデータをPCまたは他のコンピュータインターフェイスに転送します。この情報は、プロセスの変更を行い、パフォーマンスを監視するために使用できます。TEGAL 901eは調節可能な速度および間隔変数との精密なパターン化が可能です。選択可能なエッチング流量、レーザー出力、冷却機は、望ましくない材料を効率的に除去します。また、TEGAL 901 Eは高速スキャン機能を備えており、250 µmから10mmまでの基板厚のエッチング/アッシングを行うことができます。901eは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと内蔵のLCDパネルを備えています。これには、自動圧力制御ツールやサーマルカットオフスイッチなど、いくつかの安全機能が含まれています。直感的で使いやすい制御ソフトウェアは、ユーザーが簡単にアクセスし、プロセスレシピやプロファイルデータを保存することができます。901 Eは、電子および電気化学プロトタイピングおよび製造に最適な、高度で強力なエッチングおよびアッシングツールです。