中古 TEGAL 901e #293595381 を販売中

TEGAL 901e Etch/Asher Equipmentは、エッチング/アッシャー技術に基づいて製造および研究開発用に設計された汎用性の高い並列処理システムです。10,062個の独立したプロセスゾーンを備えており、並列処理技術を利用することができます。TEGAL 901 Eは、多段式マルチガスアプローチを利用し、蒸着、金属エッチング、酸化物除去、マスキング、選択的エッチングなど、さまざまなエッチング/アッシャー用途に使用できます。901eは腐食に対して抵抗力があり、650°C。まで温度に加熱することができる陶磁器の部屋を利用します。それは最適化された熱性能およびモーター制御のための高度のニッケルの超合金から組み立てられます。これは、2つのゾーンプロセスチャンバーの設計に結合されており、各ゾーンはガスタイトベローズで互いに独立して密閉されています。これにより、2つのゾーン間の一貫した処理条件が保証されます。ユニットは、洗練されたコンピューター制御コンソールを介して制御されます。これにより、基板の事前洗浄、温度およびRF電力制御、イオン化されたソース選択、圧力、およびエッチング/アッシャーサイクル時間などのプロセスパラメータの自動シーケンスが容易になります。901 Eには、揮発性オーガニックモニター、ウェーファーハンドリングブレード、真空ゲージなど、いくつかの周辺機器を取り付ける機能もあります。このEtch/Asher機械はCl2、 BCl3、 SF6およびNF3を含むガスの広い範囲と、使用することができます。このツールは、コンピュータ制御コンソールとその周辺機器の多数を介して簡単に制御および維持されます。TEGAL 901eは、エッチング/アッシャー用の非常に強力で信頼性の高い資産であり、複数のプロセス化学に適用できる柔軟性を備えています。このモデルの信頼性の高いセラミックチャンバー加熱と2ゾーン機能により、チップ生産、太陽電池製造、太陽光発電産業の用途に最適です。