中古 TEGAL 901e #293594314 を販売中

TEGAL 901eは、半導体製造装置を念頭に置いて設計されたエッチャーです。これは、自動化または手動で制御することができるシングルサイドまたはダブルサイドのエッチング方式の両方で動作することができます。TEGAL 901 Eは、レジストコーティングされたウエハーをフッ素系ガス分子のプラズマでエッチングします。このプラズマは、フッ素分子を分解するRFエネルギー、アルゴン、酸素の組み合わせによって生成され、ウェーハ表面のエッチング剤として機能します。これは、反応を正確に制御することができるため、ウェットエッチングで可能なよりも高いディテールでパターンをエッチングすることができます。この装置には、ガス混合物が含まれている真空チャンバーと、RFとDCの両方の電源も含まれています。901eは、プロセスの最適なチューニングを可能にする13の異なるパワーレベルを提供します。また、3つのプロセスタイマーを備えており、特定のエッチング深さを確保するために、プロセス時間を制御できます。901 Eはウェーハ全体で2〜3％の均一性でエッチングでき、パターンを5ミクロンまでエッチングすることができます。また、直径200mmまでのウェーハにも対応可能です。TEGAL 901eは世界中の多くの半導体研究所で使用されています。TEGAL 901 Eのメンテナンスは最小限であり、機械は簡単な使用と操作のために設計されています。シリコン、アルミニウム、チタンなど、ほとんどの基板に使用できます。901eは汎用性と信頼性が高く、高品質のエッチャーを求める人に適した選択肢です。