中古 TEGAL 901e #293590789 を販売中
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TEGAL 901eは、マイクロエレクトロニクス業界で使用される高度な機能と機能を備えたエッチャー/アッシャーです。基板の高精度・高分解能加工を可能にし、シリコン、ヒ素ガリウムなど幅広い基板に対応しています。TEGAL 901 Eエッチャー/アッシャーは、高度なエッチング制御を備えたインライン液体金属エッチングプロセスを備えています。独自の液体金属エッチングプロセスは、化学反応、熱特性、電界の組み合わせを使用して、目的の材料を選択的にエッチングします。エッチングウィンドウのサイズと形状を正確に制御する高解像度エッチングウィンドウを備えています。エッチングプロセスは、製造ニーズに合わせてライン、パターン、形状のカスタムエッチングを提供するために最適化されています。901eエッチャー/アッシャーは、調整可能なエッチング速度とパワーレベルも備えています。これにより、エッチング速度をカスタマイズでき、パワーレベルを材料の特定のプロセスニーズに合わせて調整できます。調整可能な電源設定は、最高品質のエッチング結果を確実にするための正確な制御を提供します。901 Eエッチャー/アッシャーは、データ取得オプションの選択肢も提供します。これは、任意のプロセスのレシピを簡単に取得するために、オンボードデータベースに保存されたエッチレシピのライブラリを持っています。オンボードデータベースでは、フルスケールのレシピ編集も可能です。TEGAL 901eエッチャー/アッシャーは、簡単な操作とメンテナンスを可能にするように設計されています。セットアップと操作を簡素化できるユーザーインターフェイスを備えています。リモートコントロールオペレータ、手動ボタン、および迅速なセットアップと最適化を提供する自動プログラムが付属しています。TEGAL 901 Eエッチャー/アッシャーは、エッチングプロセスの前に基板エッチング品質を識別できる自動基板検査システムを備えており、必要に応じてエッチングプロセスのトラブルシューティングに使用できます。901eエッチャー/アッシャーは小型で軽量な設計で、比較的大きな生産出力が可能です。高度な技術と汎用性を備えた901 Eエッチャー/アッシャーは、マイクロエレクトロニクスの生産に最適です。
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