中古 TEGAL 901e TTW #9248952 を販売中

TEGAL 901e TTWは、小さなウエハや基板のエッチングと合金化を目的としたエッチャー/アッシャーです。RTP （Rapid Thermal Processing）、イオンアシスト蒸着（IAD）、バイオフィルム蒸着などの熱処理をサポートするシングルチャンバー処理を提供し、高い歩留まりと高速ターンアラウンドタイムを実現します。901e TTWは、ユニークなバッフル設計を備えた12ゾーンの水晶チューブ炉を備えており、漏れを最小限に抑えるために均一性と優れた圧力制御を最大化しています。この炉は、最大12インチの6インチ基板に対応できる豊富なプロセスエンベロープを備えています。（300mm）等しい側面の均等性。また、優れた温度均一性、優れた再現性、高スループットを提供します。901eは、0。5ミクロンのコンピュータ制御、高精度、高速X-y位置決め精度、および高密度誘電体蒸着のための高度なTEOS（テトラエチルオルソシリケート）ソースを含みます。この装置は、プロセスの自動化と柔軟性を提供するように設計された高性能ソフトウェアパッケージと、効率的な基板計測のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスによって制御されます。また、石英チューブプラズマ技術を搭載した統合プラズマ源を搭載し、アッシングと蒸着の両方のプロセスに対応した専用のターゲットフィルムの高速かつ再現可能なプラズマ蒸着を提供します。蒸着速度が高いため、高性能MEMSやロジックデバイスに最適です。TEGAL 901e TTWは速い応答時間、一貫した均等性および高いスループットを提供します。革新的な設計では、高度な熱管理マシンを使用してサイクル時間を最小限に抑え、表面汚染を防ぎます。このツールは信頼性が高く、一貫性があり、新しいプロセスレシピごとに厳格にテストされています。901e TTWは、実績のある実績と組み合わせることで、さまざまなウェーハおよび基板処理アプリケーションにとって非常に望ましいツールとなります。